一种硅压力敏感组件制造技术

技术编号:8472396 阅读:180 留言:0更新日期:2013-03-24 16:24
本实用新型专利技术公开了一种硅压力敏感组件,包括硅压力敏感芯片,还包括一端开口的基座、引脚,基座开口的一端固定有波纹膜片,波纹膜片与基座底面之间形成的腔体内灌充有硅油,引脚穿过基座底面,基座底面内部引脚穿过的位置填充有玻璃釉料,硅压力敏感芯片固定在基座底面上,硅压力敏感芯片通过引线与引脚连接,本实用新型专利技术密封性好、可靠性高,具有耐腐蚀的能力,可以实现硅压力敏感组件的长期可靠密封。(*该技术在2022年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

一种硅压力敏感组件
本技术涉及一种压力传感器,特别是一种硅压力敏感组件。
技术介绍
目前,扩散硅压力敏感芯片的封装形式多为带O型圈的圆柱形结构,O型圈主要用来密封压力介质,这种方式具有安装方便、便于测试的优点。但是O型圈耐腐蚀、耐高低温、 抗老化性能有限,影响产品的可靠性和寿命,甚至,在某些恶劣环境中,O型圈不能满足使用要求。
技术实现思路
本技术所要解决的技术问题是,针对现有技术不足,提供一种可密封焊接在压力测量部位的硅压力敏感组件,克服现有O型圈密封式硅压力敏感组件密封性差、可靠性低、不耐腐蚀的缺点。为解决上述技术问题,本技术所采用的技术方案是一种硅压力敏感组件,包括硅压力敏感芯片、一端开口的基座、引脚,基座开口的一端固定有波纹膜片,波纹膜片与基座底面之间形成的腔体内灌充有硅油,引脚穿过基座底面,基座底面内部引脚穿过的位置填充有玻璃釉料,硅压力敏感芯片固定在基座底面上,硅压力敏感芯片通过引线与引脚连接,基座侧面外壁上设有O型圈密封沟槽,基座外壁设有法兰。与现有技术相比,本技术的有益效果是本技术密封性好、可靠性高,具有耐腐蚀的能力,可以实现硅压力敏感组件的长期可靠密封。附图说明本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种硅压力敏感组件,包括硅压力敏感芯片、一端开口的基座、引脚,基座开口的一端固定有波纹膜片,波纹膜片与基座底面之间形成的腔体内灌充有硅油,引脚穿过基座底面,基座底面内部引脚穿过的位置填充有玻璃釉料,硅压力敏感芯片固定在基座底面上,硅压力敏感芯片通过引线与引脚连接,基座侧面外壁上设有O型圈密封沟槽,其特征在于,基座外壁设有法兰。

【技术特征摘要】
1.一种娃压力敏感组件,包括娃压力敏感芯片、一端开口的基座、引脚,基座开口的一端固定有波纹膜片,波纹膜片与基座底面之间形成的腔体内灌充有硅油,引脚穿过基座底面,基座底面内部引脚穿过的位置填充有玻璃釉料,硅压力敏感芯片固定在基座底面上,硅压力敏感芯片通过引线与引脚连接,基座侧面外壁上设有O型圈密封沟槽,其特征在于,基座外壁设有...

【专利技术属性】
技术研发人员:金忠谢贵久颜志红何迎辉谢锋何峰
申请(专利权)人:中国电子科技集团公司第四十八研究所
类型:实用新型
国别省市:

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