【技术实现步骤摘要】
超纯水恒温节能控制装置
本技术涉及超纯水设备领域技术,尤其是指一种超纯水恒温节能控制装置。技术背景超纯水,即纯度极高的水。集成电路工业中用于半导体原材料和所用器皿的清洗、 光刻掩模版的制备和硅片氧化用的水汽源等。此外,其他固态电子器件、厚膜和薄膜电路、 印刷电路、真空管等的制作也都要使用超纯水。而使用超纯水的设备对水温度求非常严格。传统热水系统,靠继电器控制为主对水温的控制不精确,波动范围大;很容易出现接触器等电器元件启动频繁,不仅能耗高,还造成故障率高;由于热水箱体积庞大,造成了热量流失严重和安装占地面积过大等。
技术实现思路
有鉴于此,本技术针对现有技术存在之缺失,其主要目的是提供一种超纯水恒温节能控制装置,其能有效解决现有之热水系统靠继电器控制而存在水温控制不精确、 耗能、故障率闻等问题。为实现上述目的,本技术采用如下之技术方案一种超纯水恒温节能控制装置,包括有加热水桶、PID控制仪、可控硅整流器、用于监测加热水桶内之超纯水水位的水位计、用于对加热水桶内之超纯水进行加热的电加热棒以及用于监测加热水桶内之超纯水温度的热传感器;该PID控制仪与可控硅整流器连 ...
【技术保护点】
一种超纯水恒温节能控制装置,其特征在于:包括有加热水桶、PID控制仪、可控硅整流器、用于监测加热水桶内之超纯水水位的水位计、用于对加热水桶内之超纯水进行加热的电加热棒以及用于监测加热水桶内之超纯水温度的热传感器;该PID控制仪与可控硅整流器连接;该水位计、电加热棒和热传感器均安装于加热水桶上,该水位计和热传感器均连接于PID控制仪的输入端和可控硅整流器的输出端之间,该电加热棒连接可控硅整流器的输出端。
【技术特征摘要】
1.一种超纯水恒温节能控制装置,其特征在于包括有加热水桶、PID控制仪、可控硅整流器、用于监测加热水桶内之超纯水水位的水位计、用于对加热水桶内之超纯水进行加热的电加热棒以及用于监测加热水桶内之超纯水温度的热传感器;该PID控制仪与可控硅整流器连接;该水位计、电加热棒和热传感器均安装于加热水桶上,该水位计和热传感器均连接于PID控制仪的输入端和可控硅整流器的输出端之间,该电加热棒连接可控硅整流器的输出端。2.根据权利要求I所述的超纯水恒温节能控制装置,其特征在于所述加热水桶...
【专利技术属性】
技术研发人员:李广翔,杨志军,
申请(专利权)人:东莞市荣光技术工程有限公司,
类型:实用新型
国别省市:
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