基于图形识别的缺陷检索系统及方法技术方案

本发明专利技术公开了一种基于图形识别的缺陷检索系统及其方法，该方法包括如下步骤：建立缺陷数据库，并采用图形边界轮廓算法对缺陷数据库中的各种缺陷图形进行计算，一一对应的建立各种缺陷的轮廓特征数据；接收所输入的待查缺陷的图片；采用图形边界轮廓算法对待查缺陷的图片运算后取得其轮廓特征数据；将提取获得的轮廓特征数据与缺陷数据库中建立的轮廓特征数据进行比对；以及根据比对的结果，从缺陷数据库中找到相同或相似的缺陷数据信息及相关解决方案，通过本发明专利技术可实现检索缺陷数据库的目的，节省人力物力资源。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术关于一种，特别是涉及一种集成电路制造工艺中的。
技术介绍
随着集成电路技术的不断地提升，最小的设计尺寸也在不断降低，缺陷对良率的影响越来越大，同时新工艺、新材料的引入也使缺陷的种类越来越多，成因越来越复杂。目前缺陷最常用最直观的表述方式是图形，图I为现有技术中常用的缺陷数据库的图形示意图。对于图I的缺陷数据库，往往只能通过关键词进行查询，因此即使已经建立缺陷数据库，也无法通过检索的方式从数据库中找到相关资料，只能依靠原始的经验积累来查找问题，解决一个缺陷问题往往耗费大量的人力物力。
技术实现思路
为克服上述现有技术存在的不足，本专利技术之目的在于提供一种，其通过图形边界轮廓算法建立数字化的缺陷数据库，使得进行缺陷检索时只需取得待查缺陷的轮廓特征数据与缺陷数据库进行比较，找到以前的缺陷数据信息进行相关解决方案作参考，实现了检索缺陷数据库的目的，节省了人力物力资源。为达上述及其它目的，本专利技术提出一种基于图形识别的缺陷检索系统，至少包括缺陷数据库建立模组，建立缺陷数据库，并采用图形边界轮廓算法对缺陷数据库中的各种缺陷图形进行计算，一一对应的建立各种缺陷的轮廓特征数据；图片接收模组，接收所输入的待查缺陷的图片；提取模组，采用图形边界轮廓算法对待查缺陷的图片运算后取得其轮廓特征数据；比对模组，将提取模组取得的轮廓特征数据与该缺陷数据库的轮廓特征数据进行比对；以及比对结果处理模组，根据比对的结果，找到相同或相似的缺陷数据信息及相关解决方案。进一步地，该缺陷检索系统还包括分类模组，用于对缺陷数据库中建立的各种缺陷的轮廓特征数据进行分类，得到分类后的数字化的缺陷数据库。进一步地，该缺陷数据库建立模组建立的缺陷数据库中包含各种缺陷图形及对应的相关解决方法。进一步地，该缺陷图形为按照一定视场拍摄的电子显微镜照片。进一步地，该缺陷图形为按照2微米视场拍摄的电子显微镜照片。进一步地，该图片接收模组接收的是上传的待查缺陷的典型照片。为达到上述及其他目的，本专利技术还提供一种基于图形识别的缺陷检索方法，包括如下步骤步骤一，建立缺陷数据库，并采用图形边界轮廓算法对缺陷数据库中的各种缺陷图形进行计算，一一对应的建立各种缺陷的轮廓特征数据；步骤二，接收所输入的待查缺陷的图片；步骤三，采用图形边界轮廓算法对待查缺陷的图片运算后取得其轮廓特征数据；步骤四，将提取获得的轮廓特征数据与缺陷数据库中建立的轮廓特征数据进行比对；以及步骤五，根据比对的结果，从缺陷数据库中找到相同或相似的缺陷数据信息及相关解决方案。进一步地，于步骤一中，将各种缺陷的轮廓特征数据进行分类，得到分类后的数字化的缺陷数据库。进一步地，该缺陷数据库中的缺陷图形为按照一定视场拍摄的电子显微镜照片。进一步地，该缺陷检索方法用于集成电路制造工艺中。与现有技术相比，本专利技术一种基于图形的缺陷检索系统及方法，通过建立缺陷数据库，利用图形边界轮廓算法对缺陷数据库中的缺陷图形进行计算建立各种缺陷的轮廓特征数据，进行缺陷检索的时候只要上传待查缺陷的典型照片，并采用图形边界轮廓算法对该照片运算后取得其轮廓特征数据，通过缺陷数据库进行比对，找到以前的缺陷数据信息及相关解决方案作参考，从而解决该缺陷问题，实现了检索缺陷数据库的目的，节省了人力物力资源。附图说明图I为现有技术中常用的缺陷数据库的图形示意图；图2为本专利技术一种基于图形识别的缺陷检索系统的系统架构图；图3为本专利技术较佳实施例中利用图形边界轮廓算法对缺陷数据库中缺陷图形数字化的不意图；图4为本专利技术较佳实施例中分类模组206对缺陷图形边界轮廓数据进行分类的示意图；图5为本专利技术一种基于图形识别的缺陷检索方法的步骤流程图；图6为本专利技术一种基于图形识别的缺陷检索方法之较佳实施例的步骤流程图。具体实施例方式以下通过特定的具体实例并结合附图说明本专利技术的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所揭示的内容轻易地了解本专利技术的其它优点与功效。本专利技术亦可通过其它不同的具体实例加以施行或应用，本说明书中的各项细节亦可基于不同观点与应用，在不背离本专利技术的精神下进行各种修饰与变更。图2为本专利技术一种基于图形识别的缺陷检索系统的系统架构图。如图2所示，本专利技术一种基于图形识别的缺陷检索系统，至少包括缺陷数据库建立模组201、图片接收模组202、提取模组203、比对模组204以及比对结果处理模组205。缺陷数据库建立模组201，建立缺陷数据库，并采用图形边界轮廓算法对缺陷数据库中的各种缺陷图形进行计算，一一对应的建立各种缺陷的轮廓特征数据，具体的说，缺陷数据库建立模组201通过图形边界轮廓算法对缺陷数据库中的各种缺陷图形计算出缺陷轮廓，从而把缺陷轮廓特征数字化，如图3所示。缺陷数据库中包含各种缺陷图形及对应的相关解决方法，在本专利技术较佳实施例中，缺陷数据库中的图片为按照一定视场(2微米)拍摄的电子显微镜照片。由于图形边界轮廓算法为现有技术中常见的计算机图形学提取算法，在此不予赘述。图片接收模组202用于接收所输入的待查缺陷的图片，在本专利技术较佳实施例中，图片接收模组202接收上传的待查缺陷的典型照片，当然本专利技术不限于此；提取模组203，采用图形边界轮廓算法对待查缺陷的图片运算后取得其轮廓特征数据；比对模组204，将提取模组203取得的轮廓特征数据与缺陷数据库建立模组201建立的轮廓特征数据进行比对；比对结果处理模组205根据比对的结果，找到相同或相似的缺陷数据信息及相关解决方案，从而解决该待查缺陷的缺陷问题。较佳的，在本专利技术较佳实施例中，本专利技术之基于图形识别的缺陷检索系统还包括分类模组206，分类模组206用于对缺陷数据库建立模组201建立的各种缺陷的轮廓特征数据进行分类，得到数字化的缺陷数据库，以便于比对模组204进行比对，提高比对效率，图4为本专利技术较佳实施例中分类模组206对缺陷图形边界轮廓数据进行分类的示意图，如图4所示，如根据轮廓特征数据将缺陷数据库分为圆形、圆锥形、方形及线性的。图5为本专利技术一种基于图形识别的缺陷检索方法的步骤流程图。如图5所示，本专利技术一种基于图形识别的缺陷检索方法，包括如下步骤步骤501，建立缺陷数据库，并采用图形边界轮廓算法对缺陷数据库中的各种缺陷图形进行计算，一一对应的建立各种缺陷的轮廓特征数据，即将各种缺陷的轮廓特征数据数字化，建立的缺陷数据库中包含各种缺陷图形及对应的相关解决方法，在本专利技术较佳实施例中，缺陷数据库中的图片为按照一定市场(2微米)拍摄的电子显微镜照片；步骤502，接收所输入的待查缺陷的图片，在本专利技术较佳实施例中，这里接收的是上传的待查缺陷的典型照片，本专利技术不限于此；步骤503，采用图形边界轮廓算法对待查缺陷的图片运算后取得其轮廓特征数据；步骤504，将提取获得的轮廓特征数据与缺陷数据库中建立的轮廓特征数据进行比对；以及步骤505，根据比对的结果，从缺陷数据库中找到相同或相似的缺陷数据信息及相关解决方案，从而解决该待查缺陷的缺陷问题。较佳的，在步骤501中，还可以通过将各种缺陷的轮廓特征数据进行分类，得到分类后的数字化的缺陷数据库，以便于后续的比对操作，提高比对效率。图6为本专利技术一种基于图形识别的缺陷检索方法之较佳实施例的步骤流程图。以下将配合图6对本专利技术之较佳实施例作进一步介绍。如图6所示，在本专利技术较佳实施例中，本专利技术一种基本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种基于图形识别的缺陷检索系统，至少包括：缺陷数据库建立模组，建立缺陷数据库，并采用图形边界轮廓算法对缺陷数据库中的各种缺陷图形进行计算，一一对应的建立各种缺陷的轮廓特征数据；图片接收模组，接收所输入的待查缺陷的图片；提取模组，采用图形边界轮廓算法对待查缺陷的图片运算后取得其轮廓特征数据；比对模组，将提取模组取得的轮廓特征数据与该缺陷数据库的轮廓特征数据进行比对；以及比对结果处理模组，根据比对的结果，找到相同或相似的缺陷数据信息及相关解决方案。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：龙吟，范荣伟，王洲男，倪棋梁，陈宏璘，
申请(专利权)人：上海华力微电子有限公司，
类型：发明
国别省市：