【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
水环式石英炉台真空泵,包括泵体,所述泵体与供水系统相连,所述供水系统包括水箱,所述水箱的出水口通过管道与泵体的入水口相连,所述水箱的入水口与气水分离器相连,所述气水分离器通过气水排出管与泵体的出水口相连,其特征在于,所述水箱由其内部的溢流板分隔成供水区和排水区,所述排水区的侧面设有排气管和排水管,所述排水区的底部安装有循环进水管,所述供水区的顶部设有进气管和进水口。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:罗松波,张启达,邓寅,
申请(专利权)人:江西中昱新材料科技有限公司,
类型:实用新型
国别省市:
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