密封圈拆卸工具制造技术

本实用新型专利技术公开了一种密封圈拆卸工具，包括空心的手柄、两个夹臂以及限位架，所述两个夹臂交叉设置并且相互转动连接，所述限位架设置于所述手柄的一端，所述两个夹臂的一端分别经手柄的管壁向外伸出，所述两个夹臂的另一端分别经所述限位架向外伸出，限位架具有两个分别供对应的夹臂的另一端伸出的开口，通过调节所述两个夹臂的一端能够控制所述两个夹臂的另一端之间夹持距离，当需要拆卸位于凹槽中的密封圈时，先将所述两个夹臂的另一端调节到合适的距离即略微小于凹槽的宽度；然后，对准密封圈的位置向下插入到凹槽中；接着，夹紧所述两个夹臂的另一端；最后，将密封圈拉出，从而在不损害凹槽的情况下，安全、便捷地完成密封圈的拆除工作。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及工具，尤其涉及一种密封圈拆卸工具。
技术介绍
目前，在半导体制造领域内，需要使用大量的反应腔进行各种工艺制程。请参阅图I和图2，现有的反应腔，通常包括腔体I和上盖(未图示)，所述上盖可拆卸式设置于所述腔体I的上方，所述腔体I和上盖形成一个密闭的反应室，所述腔体I通常是圆形腔室，在腔体壁的顶部开设用于设置密封圈2的圆形凹槽11。当反应腔使用一段时间后，维护人员需要对密封圈2进行更换。然而，目前没有专门的工具用于抓取密封圈，而采用通用的夹钳，容易损伤凹槽，使得后续产生泄漏问题。因此，如何提供一种可以快速、安全的拆卸密封圈的密封圈拆卸工具是本领域技术人员亟待解决的一个技术问题。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种密封圈拆卸工具，可以实现密封圈的快速、安全拆卸。为了达到上述的目的，本技术采用如下技术方案—种密封圈拆卸工具，包括空心的手柄、两个夹臂以及限位架，所述两个夹臂交叉设置并且相互转动连接，所述限位架设置于所述手柄的一端，所述两个夹臂的一端分别经手柄的管壁向外伸出，所述两个夹臂的另一端分别经所述限位架向外伸出，所述限位架具有两个分别供对应的夹臂的另一端伸出的开口，调节所述两个夹臂本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种密封圈拆卸工具，其特征在于，包括空心的手柄、两个夹臂以及限位架，所述两个夹臂交叉设置并且相互转动连接，所述限位架设置于所述手柄的一端，所述两个夹臂的一端分别经手柄的管壁向外伸出，所述两个夹臂的另一端分别经所述限位架向外伸出，所述限位架具有两个分别供对应的夹臂的另一端伸出的开口，调节所述两个夹臂的一端能够控制所述两个夹臂的另一端之间夹持距离。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：吴良辉，
申请(专利权)人：中芯国际集成电路制造上海有限公司，
类型：实用新型
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