有机EL显示面板及其制造方法技术

本发明专利技术提供一种有机EL显示面板及其制造方法。在面板(100)的下部电极(6)，设置仅有反射金属膜(60)的单层区域(150、151)。使露出的反射金属膜(60)的表面存在由来自反射金属膜60的金属材料形成的金属氧化物膜(62、63)。金属氧化物膜(62、63)通过下部电极工序的蚀刻处理和灰化处理来形成。由此，能够期待能以较低成本来生产，即使不使用像素限制层也能防止短路、异常发光，能适当地谋求像素分离。另外，能够期待以比以往更均匀的膜厚形成发光层，能实现良好的图像显示性能。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及使用了有机电致发光元件(以下称为“有机EL元件”)的有机EL显示面板及其制造方法，尤其涉及阳极周围的结构的改良技术。
技术介绍
有机EL(电致发光)元件是电流驱动型的发光元件，具有在阳极与阴极之间配置了含有有机发光材料的发光层的基本构造。在驱动时将电压施加在所述电极之间，使从阳极注入的空穴和从阴极注入的电子在发光层中复合，利用伴随于此的电致发光现象。有机EL元件为自发光型，其视觉识别性高，且为完全固体元件，也具有优异的耐冲击性。作为有机EL元件的型式，存在如下的涂覆型调整含有高分子材料、薄膜形成性良好的低分子的墨水，通过喷墨方式等将其涂覆于基板，形成发光层、电荷注入层。近年来，在形成有TFT (薄膜晶体管)布线部的基板上呈矩阵状配置了涂覆型的多个有机EL元件的有机EL显示面板作为各种显示器、图像显示装置等而被实用化。在基板上，各有机EL元件通过具有预定形状的堤(bank，隔壁)来区划。代表性的线堤(line bank)构造是使线堤在基板的列方向上延伸、并在行方向上并列设置多个线堤。在相邻的堤之间隔着一定间隔而排列同色的发光兀件。在行方向上排列RGB中任一色的发光元件，从而作为面板整体实现彩色显示。图10示出以往的有机EL显示面板的制造工序的一部分。如图10的(e-3)所示，阳极(下部电极)6X沿着堤10的长度(X)方向按各元件形成区域进行配置。在相邻的元件形成区域之间存在间隙11。作为下部电极6，呈长条状形成由反射金属膜60和透明导电膜61层叠而成的电极。反射金属膜60通过挖掘平坦化膜4而成的开口部(接触孔8)，与所述TFT布线部的供电电极3电连接。通常，接触孔8避开有机EL元件的发光区域而形成在非发光区域(像素限制区域)中的下部电极60的X方向的一端附近。如图7所示，在下部电极6上依次形成有(有机)发光层7、上部电极9、封止层(未图示)等。在此，如图7所示，在形成于基板上的各有机EL元件中，在面对间隙11的反射金属膜60的边缘部、接触孔8的周围(特别是开口部周缘部)，发光层7的膜厚容易变薄。因此，有可能因发光层7的层断(段切Λ )而导致发生短路、在膜厚薄的部分会发生电场集中而导致发生异常发光。另外，在具有线堤构造的有机EL显示面板中，为了得到适当的图像显示性能，还需要限制在列(X)方向上相邻的有机EL元件而使之分离。为此，在该区域中，如图8、图10的(e-3)所示，在透明导电膜61和发光层7之间，覆盖有与堤10的长度(X)方向正交的由SiON等绝缘性材料形成的像素限制层66。在设有像素限制层66的区域中，能够防止在驱动时电流从下部电极6、上部电极9流向发光层7，能够期待对由电场异常导致的发光不均、及发生短路产生一定的效果。在先技术文献专利文献I :日本特开2007-26754号公报专利文献2 :日本特开2007-59383号公报
技术实现思路
但是，在以往的具有线堤构造的有机EL显示面板中，存在如下几个课题。作为第一课题，在有机EL显示面板的制造工序中，另外需要用于形成像素限制层的工序(在用SiON构成像素限制层的情况下为溅射工序)。因此，除了需要实施该工序的专用装置之外，还存在制造工序变得复杂的情况，有可能会导致生产成本的上升。作为第二课题，存在即使设置像素限制层也难以完全防止下部电极和上部电极的短路的问题。一般而言，像素限制层由通过溅射法或CVD法形成的SiON膜等构成，但这些成膜方法的台阶差覆盖性并不充分。因此，如图8的剖视图所示，在作为下部电极6x的端部加工形状而反射金属膜60上的透明导电膜61为房檐形状的情况下，X方向上相邻的有机EL元件彼此的间隙11未被完全覆盖，有时会在像素限制层产生层断。有可能该层断部分成为电流通路而导致反射金属膜60或透明导电膜61与阴极9短路。·本专利技术是鉴于以上课题而完成的，第一目的在于提供一种能够期待以较低成本来生产、不使用像素限制层也能防止短路和异常的发生、并适当地谋求像素分离的有机EL显示面板及其制造方法。第二目的在于提供一种能够期待通过以比以往更均匀的膜厚来形成发光层、从而实现良好的图像显示性能的有机EL显示面板及其制造方法。为了解决上述课题，本专利技术的一个方式的有机EL显示面板的结构为，包括基板；薄膜晶体管层，形成于基板；层间绝缘膜，配置在薄膜晶体管层的上方；多个隔壁，在层间绝缘层上呈线状并列设置；多个第一电极，在所述多个隔壁中相邻的隔壁之间沿着一列配置；发光层，跨沿着所述一列配置的各第一电极的上方而形成；以及第二电极，形成在所述发光层的上方，所述第一电极各自包括反射金属膜和透明导电膜层叠而成的双层区域，在沿着所述一列对置的各第一电极的对向端部存在没有层叠透明导电膜的反射金属膜的单层区域，在所述单层区域处的反射金属膜的表面存在由构成所述反射金属膜的金属材料形成的金属氧化物膜。在本专利技术的有机EL显示面板中，在以所述线为单位相邻的2个第一电极(下部电极)，在相互的对向端部处由反射金属膜形成的单层区域形成金属氧化物膜。形成了该金属氧化物膜的区域成为在第一电极和第二电极(上部电极)之间隔着所述金属氧化物膜的构造，因此在有机EL显示面板的驱动时，能够以在该区域不流动电流的方式进行控制。其结果，在形成了所述金属氧化物膜的区域中，即便不像以往那样设置像素限制层也能避免发光层中发生异常发光、第一电极与第二电极发生短路。这样，在本专利技术中，能够通过所述金属氧化物膜发挥与如下情况同样的功能，该情况是沿着同一线单位形成了像素限制层以区划各元件形成区域(第一电极的位置)的情况。附图说明图I是表示实施方式I的有机EL显示面板100的结构的局部立体图。图2是表示有机EL显示面板100的结构的俯视图。图3是表示有机EL显示面板100的结构的局部剖视图。图4是表不实施方式2的配置了密合层的有机EL显不面板100A的结构的局部剖视图。图5是表示本专利技术的下部电极(阳极)周围的制造工序的图。图6是表示本专利技术的下部电极(阳极)周围的制造工序的图。图7是表示不设置像素限制层的情况下的以往课题的剖视图。图8是表示设置有像素限制层的情况下的以往课题的剖视图。图9是表示以往的下部电极(阳极)周围的制造工序的图。图10是表示以往的下部电极(阳极)周围的制造工序的图。图11是表示利用了有机EL显示面板100的图像显示装置的结构的图。 图12是例示出图像显示装置的利用方式的图。标号说明L1、L2沿着线堤的长度(X)方向的单层区域长度PRl PR4、PR2’ 抗蚀剂I 基板2TFT布线部(薄膜晶体管层)3供电电极4平坦化膜(层间绝缘膜)6下部电极(阳极)7发光层8接触孔9上部电极(阴极)10 堤(线堤)11 间隙15、15R、15G、15B 有机 EL 元件(子像素)60X反射金属层60反射金属膜(反射阳极)61X透明导电层61透明导电膜62、63金属氧化物膜66像素限制层66X绝缘膜100、100A有机EL显示面板150具有接触孔的单层区域151单层区域200显示装置620、630对向端面部621、631 边缘部622接触孔周边部623,633 内部端部624、634 上面部625宽度⑴方向侧面部具体实施例方式〈专利技术方式〉本专利技术的一个方式的有机EL显示面板的结构为，包括基板；薄膜晶体管层本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】

【专利技术属性】
技术研发人员：汤浅宽，
申请(专利权)人：松下电器产业株式会社，
类型：
国别省市：