【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种电真空器件，尤其是一种软X射线管、其制造方法以及由所述软X射线管为发射源的光离子静电消除器。
技术介绍
目前，X射线管的应用范围除了常规的工业探伤、安全检查、医疗诊断领域外，已经被广泛应用于其他领域，比如静电消除、空气净化、软组织摄影、材料分析及商品检验等。近年来，公开的专利技术中主要有以下几项申请号为CN200810202778. 5的专利技术专利“一种用光离子消除静电的方法及其装置”公开的X射线管，是在X射线管内设置环形阳极靶面和环形阴极，在X射线管的前端，设 置端窗式发射窗，所述环形阴极为一外径小于环形阳极靶面内径的圆柱状体，其靠近X射线端子侧的一端设置贯穿孔，其靠近X射线管发射窗的一端设置一纵向开口槽与贯穿孔相通，开口槽中设置螺旋状灯丝绕组，其阴极结构复杂，加工困难。申请号为CN200580010021. O的专利技术专利“透射式X射线管及其制造方法”，公开的X射线管的管体主要由陶瓷和铜材料组成，透射式阳极端(端窗)采用铜材料，阴极结构无阴极罩。工艺上，采用钎焊方法分别焊接阴极结构和阳极组件，最后将阴极和阳极再次进行焊接。不仅结构复杂，...
【技术保护点】
软X射线管，由端窗输出式阳极组件（1）、真空密封组件（2）、阴极组件（3）组成；其特征在于：所述阴极组件（3）包括阴极托（33）、平板芯柱（34）、分别固定在平板芯柱（34）上的灯丝（31）和阴极托（33）以及与阴极托（33）焊接连接的阴极罩（32），所述平板芯柱（34）的结构为将多根芯柱固定在平板上的结构，所述灯丝（31）焊接在芯柱的顶端，所述阴极托（33）固定在芯柱上靠近平板的位置；所述阳极组件（1）包括一面具有厚度为纳米级金属薄膜靶层的铍片（11）和阳极焊接件（12），所述铍片（11）具有纳米级的金属薄膜靶层的一面朝向所述阴极组件（3）并焊接在阳极焊接件（12）上；所...
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：徐卫平，任翔，王奇志，沙京田，曹琴琴，
申请(专利权)人：公安部第一研究所，北京中盾安民分析技术有限公司，
类型：发明
国别省市：
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