光声光谱气体传感器制造技术

本发明专利技术公开了一种光声光谱气体传感器。它包括与光源(1)、石英音叉(13)配接的电路，特别是声谐振腔(6)由主管(11)和支管(12)垂直连通构成，主管(11)的管轴线与光路(2)同轴，其管长为4.57～7.87mm、管内直径为0.4～1.5mm，支管(12)的管长为1～2mm、管内直径为0.4～0.5mm，聚焦透镜(4)的焦点位于主管(11)与支管(12)的连通处，石英音叉(13)的音叉臂(131)平面和狭缝中心分别与支管(12)的轴线相垂直和位于轴线上，且音叉臂(131)平面与支管(12)末端口之间的距离为20～50μm，石英音叉(13)的音叉臂(131)狭缝的宽度为0.28～0.32mm，其共振频率为31.768～33.768kHz。它最大效率地实现了光激发声波能量和石英音叉之间的耦合，可用于探测痕量气体领域。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种气体传感器，尤其是一种光声光谱气体传感器。
技术介绍
探测并确定痕量气体含量的传感器在环境监测、工业过程控制、医疗诊断等领域有着广泛的应用需求，基于上述因素，人们为了获得此种传感器，做出了不懈的努力，如在公布日为2010年8月25日的本申请人的一份中国专利技术专利申请文件CN 101813621A中曾描述过的一种“基于声谐振腔的石英音叉增强型光声光谱气体传感装置”。该气体传感装置由光源光路上的聚焦透镜、腔轴线与光路同轴的管状声谐振腔和置于谐振腔侧开口狭缝处的石英音叉，以及与光源、石英音叉配接的电路组成，其中，狭缝与声谐振腔的管长相垂直，聚焦透镜的焦点位于声谐振腔中的狭缝处。探测时，通过配接电路分别使气体传感装置处 于扫描和锁定两种工作模式，均获得了待测痕量气体的含量。但是，这种气体传感装置存在着欠缺之处因管状声谐振腔在其径向上的开口狭缝与石英音叉难以完全匹配，无法最大效率地实现光激发声波能量与音叉之间的耦合，从而不能有效地充分利用光声吸收信号的能量。
技术实现思路
本专利技术要解决的技术问题为克服现有技术中的欠缺之处，提供一种结构合理、光声吸收信号的能量利用率高的光声本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种光声光谱气体传感器，由光源(1)光路(2)上的聚焦透镜(4)和声谐振腔(6)，以及置于声谐振腔(6)侧开口处的石英音叉(13)，与光源(1)、石英音叉(13)配接的电路组成，其特征在于：所述声谐振腔(6)为T形，所述T形声谐振腔(6)由主管(11)和支管(12)垂直连通构成，所述主管(11)的管轴线与光源(1)光路(2)同轴，其管长为4.57～7.87mm、管内直径为0.4～1.5mm，所述支管(12)的管长为1～2mm、管内直径为0.4～0.5mm；所述聚焦透镜(4)的焦点位于主管(11)与支管(12)的连通处；所述石英音叉(13)的音叉臂(131)平面和狭缝中心分别与支管(12)的轴线...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：高晓明，易红明，刘锟，孙善文，谈图，汪磊，
申请(专利权)人：中国科学院安徽光学精密机械研究所，
类型：发明
国别省市：