【技术实现步骤摘要】
本技术涉及取样装置领域,尤其涉及一种可调节的采样头基座及包括该采样 头基座的颗粒监测仪器。
技术介绍
为了在洁净室中控制产品所接触空气的洁净度及温湿度,使产品能在一个良好的 环境中生产、制造,颗粒监测是非常重要的一项日常工作。目前常用的颗粒监测的采样头有 一定体积并且有一定的重量,较难固定,而目前使用的颗粒监测仪器是将采样管和采样头 连接。因采样头重量及大小的原因,放置场所的限制较多,无法在狭小的空间内如机台的腔 体内进行监测,也无法根据位置的不同需求放置采样头,或者需要手持采样头进行定位从 而造成人为的颗粒污染,从而导致测量的不准确甚至失败。
技术实现思路
为了解决上述问题,本技术提供了一种可调节的采样头基座,应用于采样头 及采样软管的固定,其中,包括连杆与底座;所述连杆下部为长度固定的管状结构,所述连杆的上部为可伸缩的套接管状结 构;所述底座与所述连杆活动连接。所述连杆采用不锈钢材料。所述连杆的管状结构直径大于采样软管的直径。本技术还提供了一种颗粒监测仪器,其中,包括如上述任意一项的可调节的 采样头基座。本技术提供的采样头基座以及颗粒监测设备通过采用活动的基座固定采 ...
【技术保护点】
一种可调节的采样头基座,应用于采样头及采样软管的固定,其特征在于,包括连杆与底座;所述连杆下部为长度固定的管状结构,所述连杆的上部为可伸缩的套接管状结构;所述底座与所述连杆活动连接。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:潘军花,王祺,陈蓉,
申请(专利权)人:上海华力微电子有限公司,
类型:实用新型
国别省市:
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