【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及硅片湿法处理领域，尤其涉及湿法处理设备中工艺腔内发生碎片后硅片残屑的过滤装置。
技术介绍
在硅片的湿法处理设备的工艺过程中，经常会遇到硅片在工艺腔内碎掉的问题。由于硅片非常薄，一旦碎片后，会产生许多细小且锋利的碎屑，这种情况发生后需立即停止设备并对设备工艺腔进行清理，由于湿法处理设备用到多种化学药液，因此在硅片碎掉的同时，会有一部分碎屑在化学药液的带动下通过工艺腔内的排液口排走，这样碎屑会进入到与工艺腔连接的阀体内部，造成对阀体的损坏。通常一个工艺腔排液口之后可能会接有多个阀，如果碎屑对这些阀造成损坏会使得设备检修非常费时，而且湿法处理设备中用到的阀价格都比较昂贵，造成大量经济损失。
技术实现思路
(一)要解决的技术问题本专利技术的目的是，提供一种过滤装置，以解决湿法处理设备中工艺腔内发生碎片后，硅片碎屑的处理问题。(二)技术方案为了解决上述技术问题，本专利技术提供了一种过滤装置，包括进液口接头、进液口接头连接件、过滤件、排液口接头连接件和排液口接头，所述进液口接头的一端外接工艺腔排液口，其另一端连接所述进液口接头连接件，所述进液口接头连接件与所述排液...
【技术保护点】
一种过滤装置，其特征在于：包括进液口接头、进液口接头连接件、过滤件、排液口接头连接件和排液口接头，所述进液口接头的一端外接工艺腔排液口，其另一端连接所述进液口接头连接件，所述进液口接头连接件与所述排液口接头连接件连接，所述排液口接头的一端连接所述排液口接头连接件，其另一端外接切换阀，所述过滤件设置在所述进液口接头连接件和排液口接头连接件之间。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：王波雷，张豹，贾星杰，高浩，
申请(专利权)人：北京七星华创电子股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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