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本发明涉及硅片湿法处理领域，具体公开了一种过滤装置，其包括进液口接头、进液口接头连接件、过滤件、排液口接头连接件和排液口接头，进液口接头的一端外接工艺腔排液口，其另一端连接进液口接头连接件，所述进液口接头连接件与所述排液口接头连接件连接，排...
该专利属于北京七星华创电子股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京七星华创电子股份有限公司授权不得商用。

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