吸盘制造技术

本实用新型专利技术提供了一种吸盘，包括：盘体，盘体包括第一表面、第二表面和气孔；凸起部，凸起部突出地设置在第一表面上并围成凹部，且凸起部围绕凹部的周向连续地设置，气孔设置在与凹部相对应的位置处，气孔由第一表面向第二表面的方向延伸并贯穿盘体。本实用新型专利技术的第一表面上设置周向连续的凸起部，形成用于与待吸物接触的吸附面，并在盘体上与凹部相对应的位置处设置有贯穿于盘体的气孔。使用时，通过对气孔抽气可在凹部与待吸物之间形成真空气腔，从而将待吸物吸起。由于吸附面是由凸起部形成的，所以减小了吸盘与待吸物之间的接触面积、降低了待吸物出现裂纹和破损的危险。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

吸盘
本技术涉及机械手领域，更具 体地，涉及一种吸盘。
技术介绍
现有技术中的机械手的吸盘包括设置在吸盘中部的圆形垫片、间隔设置在圆形垫片的外圈的环形垫片和设置在圆形垫片与圆形垫片间隔处的气孔。吸盘工作时，吸盘放置在待吸物(例如，硅片等)的表面，通过外部的吸气系统从气孔中抽气，于是，待吸物在吸气的作用下，吸附贴合在圆形垫片和环形垫片上，从而随着机械手的移动而移动。由于待吸物(例如，硅片)镀膜后，其表面易存有小颗粒(例如，氮化硅颗粒)，因而导致在吸取待吸物的过程中，小颗粒处于待吸物与吸盘之间，从而造成待吸物出现裂纹或破损的问题，提高了待吸物的使用成本。另外，由于吸气的作用，在吸附的过程中小颗粒会朝向吸盘的中间位置移动，从而导致待吸物的裂纹和破损主要集中在与吸盘的中部相对应的位置处。
技术实现思路
本技术旨在提供一种吸盘，以解决现有技术中因待吸物与吸盘之间存在小颗粒而导致待吸物裂纹、破损的问题。为解决上述技术问题，本技术提供了一种吸盘，包括盘体，盘体包括第一表面、第二表面和气孔；凸起部，凸起部突出地设置在第一表面上并围成凹部，且凸起部围绕凹部的周向连续地设置，气孔设置在与凹部相对应的位置处，气孔由第一表面向第二表面的方向延伸并贯穿盘体。进一步地，凸起部包括至少两个依次套设的环状的第一凸起部，第一凸起部与第一表面连接，至少两个第一凸起部及盘体的第一表面之间形成凹部。进一步地，凸起部还包括多个第二凸起部，第二凸起部与第一凸起部相交，第一凸起部、第二凸起部及盘体的第一表面之间形成多个凹部。进一步地，盘体的相对于每个凹部处分别设置有多个气孔。进一步地，第二凸起部沿盘体的径向设置，多个第二凸起部呈放射状分布。进一步地，吸盘还包括吸气辅助件，吸气辅助件可拆卸地安装在盘体的第二表面上。进一步地，吸气辅助件包括集气壳，集气壳与盘体连接，集气壳包括与盘体的气孔连通的腔体。进一步地,集气壳包括壳体和机械手连接件,机械手连接件与壳体相连接。进一步地，壳体包括第一吸气孔，机械手连接件包括与第一吸气孔对应设置的第二吸气孔，第二吸气孔通过第一吸气孔与腔体连通。进一步地，吸气辅助件还包括凸块，凸块设置在腔体内并与盘体连接，凸块的外表面与壳体的内壁之间形成气体通道，盘体上的气孔通过气体通道与第一吸气孔连通。本技术的第一表面上设置周向连续的凸起部，形成用于与待吸物接触的吸附面，并在盘体上与凹部相对应的位置处设置有贯穿于盘体的气孔。使用时，通过对气孔抽气可在凹部与待吸物之间形成真空气腔，从而将待吸物吸起。由于吸附面是由凸起部形成的， 所以减小了吸盘与待吸物之间的接触面积、降低了待吸物出现裂纹和破损的危险。附图说明构成本申请的一部分的附图用来提供对本技术的进一步理解，本技术的示意性实施例及其说明用于解释本技术，并不构成对本技术的不当限定。在附图中I示意性示出了本技术中的盘体的仰视图；2示意性示出了图I中A-A方向的剖视图；3示意性示出了本技术中的盘体的俯视图；4示意性示出了本技术中的集气壳的俯视图；5示意性示出了图4中B-B方向的剖视图；6示意性示出了本技术中的凸块的结构示意图；以及 7示意性示出了图6的俯视图。图图图图图图图具体实施方式以下结合附图对本技术的实施例进行详细说明，但是本技术可以由权利要求限定和覆盖的多种不同方式实施。本技术提供了一种吸盘。如图I至图7所示，吸盘包括盘体10和凸起部14。 其中，盘体10包括第一表面11、第二表面12和气孔13。凸起部14突出地设置在第一表面 11上并围成凹部15，且凸起部14围绕凹部15的周向连续地设置，由于凸起部14是周向连续地设置，从而使得在吸附的过程中凸起部14、第一表面11和待吸物所围成的凹部15可以形成真空气腔，因而可以将待吸物牢牢地吸住、且不会由于机械手的移动而发生待吸物掉落的情况。气孔13设置在与凹部15相对应的位置处，气孔13由第一表面11向第二表面 12的方向延伸并贯穿盘体10。机械手的吸盘工作时，首先将吸盘移动到待吸物的表面上，而后通过外部的吸气系统抽气，将盘体10的第一表面11上的凸起部14形成的吸附面与待吸物之间的气体通过气孔13排出到吸盘的外部。此时，凹部15与待吸物之间形成真空气腔，从而将待吸物吸起。由于本技术中的吸盘的吸附平面是由凸起部14形成的，而非现有技术中的圆盘和圆环组成的平面式吸附面，因而减少了吸盘与待吸物之间的接触面积，从而降低了由于吸盘与待吸物之间存在颗粒而将待吸物硌裂、硌碎的危险，也降低了使用成本。同时，本技术还具有结构简单、制造成本低等特点。优选地，凸起部14包括至少两个依次套设的环状的第一凸起部14a，第一凸起部 14a与第一表面11连接，至少两个第一凸起部14a及盘体10的第一表面11之间形成凹部 15 (请参考图I和图2)。这样设置形成的凹部15与待吸物配合后可以形成环状的真空气腔，从而保证吸盘可以稳定、牢固地吸住待吸物。此外，由于吸附面是由至少两个依次套设的环状的第一凸起部14a形成的，因而盘体10与待吸物之间的接触面积小，从而减小了待4吸物被颗粒硌裂、硌碎的危险。由于设置在盘体中心处的第一凸起部14a是环状的，而非现有技术中的圆形垫片，因而在吸附过程中盘体10的中部不会与待吸物接触，也就避免了由于颗粒均向盘体10的中部移动，而造成待吸物被硌裂、硌碎的问题。特别地，当凹部15的体积较大时，要想保证吸盘瞬间能将待吸物吸附起来，就需要增大抽气量，否则就会导致待吸物吸附延时，从而造成工作效率降低的问题。为此，优选地，如图I至图3所示的实施例中，凸起部14还包括多个第二凸起部14b，第二凸起部14b 与第一凸起部14a相交，第一凸起部14a、第二凸起部14b及盘体10的第一表面11之间形成多个凹部15。进一步地，第二凸起部14b沿盘体10的径向设置，多个第二凸起部14b呈放射状分布。由于设置了与第一凸起部14a相交的第二凸起部14b，因而将上述的凹部15 分隔为多个凹部15 (分隔后的每个凹部15的体积小于分隔前的每个凹部15的体积)，从而增加了凸起部14与待吸物之间的径向接触点，可防止出现由于吸附力过大造成待吸物变形或损坏的问题。由于减小了凹部15的体积，因而在不改变抽气量的前提下吸盘可将待吸物瞬时吸气，从而提高了工作效率。但需要注意的是，如果凹部15的面积过小，则凸起部 14与待吸物的接触面积必然过大，这样就不能很好地起到防止硌伤待吸物的作用，因此，凹部15的面积不应设置的过小。另一方面，还可以通过对凹部的深度的控制来控制凹部的体积，优选地，凹部15的深度为2mm。进一步地，由于凹部15均为分散设置的，因而盘体10的吸附面上不容易沾染污尘、颗粒，也就进一步减少了待吸物被硌裂、硌碎的危险。优选地，盘体10的相对于每个凹部15处分别设置有多个气孔13，以稳定且牢靠地将待吸物吸起。如图4和图5所示，本技术的吸盘还包括吸气辅助件，吸气辅助件可拆卸地安装在盘体10的第二表面12上。优选地，吸气辅助件包括集气壳20，集气壳20与盘体10连接，集气壳20包括与盘体10的气孔13连通的腔体21。通过集气壳20可将机械手与吸盘连接起来，从而将盘体10上的气孔13与吸气系统本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种吸盘，其特征在于，包括：盘体(10)，所述盘体(10)包括第一表面(11)、第二表面(12)和气孔(13)；凸起部(14)，所述凸起部(14)突出地设置在所述第一表面(11)上并围成凹部(15)，且所述凸起部(14)围绕所述凹部(15)的周向连续地设置，所述气孔(13)设置在与所述凹部(15)相对应的位置处，所述气孔(13)由所述第一表面(11)向所述第二表面(12)的方向延伸并贯穿所述盘体(10)。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：张晓朋，李翠双，张自成，
申请(专利权)人：英利能源中国有限公司，
类型：实用新型
国别省市：