吸盘制造技术

本实用新型专利技术提供了一种吸盘，包括：盘体，盘体包括第一表面、第二表面和气孔；凸起部，凸起部突出地设置在第一表面上并围成凹部，且凸起部围绕凹部的周向连续地设置，气孔设置在与凹部相对应的位置处，气孔由第一表面向第二表面的方向延伸并贯穿盘体。本实用新型专利技术的第一表面上设置周向连续的凸起部，形成用于与待吸物接触的吸附面，并在盘体上与凹部相对应的位置处设置有贯穿于盘体的气孔。使用时，通过对气孔抽气可在凹部与待吸物之间形成真空气腔，从而将待吸物吸起。由于吸附面是由凸起部形成的，所以减小了吸盘与待吸物之间的接触面积、降低了待吸物出现裂纹和破损的危险。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

吸盘
本技术涉及机械手领域，更具 体地，涉及一种吸盘。
技术介绍
现有技术中的机械手的吸盘包括设置在吸盘中部的圆形垫片、间隔设置在圆形垫片的外圈的环形垫片和设置在圆形垫片与圆形垫片间隔处的气孔。吸盘工作时，吸盘放置在待吸物(例如，硅片等)的表面，通过外部的吸气系统从气孔中抽气，于是，待吸物在吸气的作用下，吸附贴合在圆形垫片和环形垫片上，从而随着机械手的移动而移动。由于待吸物(例如，硅片)镀膜后，其表面易存有小颗粒(例如，氮化硅颗粒)，因而导致在吸取待吸物的过程中，小颗粒处于待吸物与吸盘之间，从而造成待吸物出现裂纹或破损的问题，提高了待吸物的使用成本。另外，由于吸气的作用，在吸附的过程中小颗粒会朝向吸盘的中间位置移动，从而导致待吸物的裂纹和破损主要集中在与吸盘的中部相对应的位置处。
技术实现思路
本技术旨在提供一种吸盘，以解决现有技术中因待吸物与吸盘之间存在小颗粒而导致待吸物裂纹、破损的问题。为解决上述技术问题，本技术提供了一种吸盘，包括盘体，盘体包括第一表面、第二表面和气孔；凸起部，凸起部突出地设置在第一表面上并围成凹部，且凸起部围绕凹部的周向连续地设置，气孔设置在与凹部相对应的位置本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种吸盘，其特征在于，包括：盘体(10)，所述盘体(10)包括第一表面(11)、第二表面(12)和气孔(13)；凸起部(14)，所述凸起部(14)突出地设置在所述第一表面(11)上并围成凹部(15)，且所述凸起部(14)围绕所述凹部(15)的周向连续地设置，所述气孔(13)设置在与所述凹部(15)相对应的位置处，所述气孔(13)由所述第一表面(11)向所述第二表面(12)的方向延伸并贯穿所述盘体(10)。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：张晓朋，李翠双，张自成，
申请(专利权)人：英利能源中国有限公司，
类型：实用新型
国别省市：