一种可延长接触时间的微冲击开关及其制备方法技术

本发明专利技术公开了一种可延长接触时间的微冲击开关及其制备方法。本发明专利技术的微冲击开关包括：可动电极和固定电极；可动电极进一步包括质量块、质量块弹簧、第一锚点和触点；固定电极包括第二锚点和悬臂梁。本发明专利技术的微冲击开关，固定电极采用多对悬臂梁，降低了固定电极的刚度，并在可动电极的质量块的前端增加了一个触点弹簧，形成刚度较小的可动触点，这些结构均有利于增加质量块在接触状态下的运动位移，降低碰撞反弹效应，从而延长接触时间，提高器件稳定性和可靠性。本发明专利技术在汽车、电子、家电、机电等行业和军事领域有着极为广阔的应用前景。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于半导体制造技术，具体涉及。
技术介绍
微冲击开关是应用了多种学科交叉融合并具有战略意义的微机电系统(Micro-Electro-Mechanical Systems)MEMS的前沿高技术,是未来的主导产业之一。基于微机电系统技术的微冲击开关，相对于传统精密机械加工的冲击开关而言，具有成本低、尺寸小、性能可靠等优点，因此广泛地应用于玩具、汽车、工业等 领域中的振动监测。例如，微冲击开关可用于汽车安全气囊系统，以监测车体的意外碰撞情况。现有技术中，微冲击开关包括键合在衬底上的可动电极和固定电极，当可动电极受到冲击时，弹簧变形，引起可动电极朝着固定电极的方向移动，从而位于可动电极前端的触点接触固定电极，开关导通。这种微冲击开关，由于固定电极与触点的接触面刚度很大，因此质量块的碰撞反弹效应比较严重，而且由于冲击加速度一般不会持续很长时间(往往在两电极达到稳定接触之前就已经消失)，所以传统开关的接触时间很短，甚至低于10us。然而，信号处理需要一定的时间，如果接触时间太短，后续电路来不及采集这种开关的信息，从而降低了器件的可靠性。
技术实现思路
针对以上现有技术中存在的问题，本专利本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种微冲击开关，其特征在于，所述微冲击开关包括：可动电极（1）和固定电极（2）；所述可动电极（1）进一步包括质量块（11）、质量块弹簧（12）、第一锚点（13）和触点（14），所述可动电极（1）通过第一锚点（13）键合在衬底上，使得所述质量块（11）和质量块弹簧（12）悬空，在所述质量块（11）的前端设置有突出的触点（14）；所述固定电极（2）包括第二锚点（23）和悬臂梁（21），所述固定电极（2）通过第二锚点（23）键合在衬底上，所述固定电极（2）与触点（14）的接触面为悬臂梁（21），所述悬臂梁（21）的一端固定在第二锚点（23）上，另一端悬空。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：张威，苏卫国，邓康发，李宋，周浩楠，
申请(专利权)人：北京大学，
类型：发明
国别省市：