休止角阀制造技术

本发明专利技术公开了一种用于控制颗粒物流动的休止角阀和一种修复休止角阀中的泄漏的方法。该休止角阀具有壳体，该壳体具有内腔、入口和出口。使用气体来输送颗粒物通过所述阀，所述壳体具有使得所述气体可具有至少70psi压力的厚度。鞍部设置在所述壳体的内腔中并且联接到可转动的轴，所述轴穿过所述壳体中的开口。波浪形密封件布置在所述轴与密封构件之间。压缩构件通过螺纹与所述密封构件接合，并且可以操作以在所述波浪形密封件上施加力，以使所述波浪形密封件相对于所述轴和/或壳体扩张，以便防止和/或修复气体从中的泄漏。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
技术介绍
高纯度粒状固体物经常用在例如包括半导体晶片在内的硅产品的制造中。使用阀来控制粒状固体物的流动。常规的阀，比如球阀或闸门阀，不适用于在制造过程中控制颗粒物的流动。使用常规阀通常导致材料被阀磨损并污染颗粒物。此外，常规的阀不能完全关闭和停止颗粒物的流动，因为颗粒物可能会陷在阀元件之间。已经开发了休止角阀(angle of reposevalve)解决这些问题。但是，先前的休止角阀具有缺点。例如，现有的密封件不能承受更高的气体压力。
技术实现思路
第一方面是一种用于分配高纯度颗粒物的休止角阀。该阀包括壳体，所述壳体具有入口、出口、具有圆周边缘的开口、以及内腔。一管从所述入口伸入所述壳体的内腔，该管具有在所述壳体的内腔中的终端。一鞍部(saddle)布置在所述壳体的内腔中。所述鞍部还竖直地布置在所述管的终端下方，并且所述鞍部具有捕获(catch)构件。一轴联接到所述鞍部并且穿过所述壳体中的开口的圆周边缘延伸，并构造成用于连接到驱动器。一波浪形密封件(chevron seal)至少靠近限定壳体中的所述开口(所述轴穿过所述开口)的圆周边缘布置，所述波浪形密封件具有空腔，所述轴穿过所述空腔。一压缩构件接合所述壳体，并且构造成在所述波浪形密封件上施加力以使所述波浪形密封件相对所述壳体中的所述开口的圆周边缘与所述轴的至少之一扩张。所述鞍部能够由所述轴在第一位置与第二位置之间转动，其中在第一位置上，所述捕获构件使所述高纯度颗粒物能够无阻碍地流动，在第二位置上，所述捕获构件竖直地布置在所述管的终端下方，使得所述高纯度颗粒物不能流过所述鞍部。另一方面是一种用于分配高纯度颗粒物的休止角阀。所述阀包括壳体，所述壳体具有入口和出口，所述壳体包括多个壁，这些壁具有至少大约0.95英寸的厚度。一管从所述入口伸入所述壳体的内腔，该管具有在所述壳体的内腔中的终端。一鞍部布置在所述壳体的内腔中，并竖直地位于所述管的终端下方。所述鞍部联接到穿过所述壳体中的开口延伸的轴。一密封板联接到所述壳体的外表面，并且其中具有靠近所述壳体中的所述开口布置的开口。所述密封板具有形成在其中的凹槽，凹槽的尺寸设定为用于容纳O形圈，所述密封板构造成使得所述阀能够利用气体分配高纯度颗粒物，所述气体具有每平方英寸至少大约80磅的压力。另一个方面是一种利用增压气体分配高纯度颗粒物的休止角阀。所述阀包括壳体，所述壳体具有入口、出口、具有圆周边缘的开口、以及内腔。所述壳体具有多个壁，这些壁具有至少大约0.95英寸的厚度。一管伸入所述壳体的内腔中，并且具有在所述内腔中的终端。一鞍部设置在所述壳体的内腔中，并且竖直地位于所述管的终端下方。一轴联接到所述鞍部并且穿过所述壳体中的所述开口延伸。一波浪形密封件至少靠近所述壳体中的穿有所述轴的所述开口的圆周边缘布置。所述波浪形密封件具有空腔，所述轴穿过所述空腔。一压缩构件通过螺纹与所述壳体接合，并且构造成当在顺时针方向和逆时针方向之一上转动时在所述波浪形密封件上施加力。施加在所述波浪形密封件上的力使所述波浪形密封件相对于所述壳体中的所述开口的圆周边缘与所述轴的至少之一扩张。另一个方面是一种修复休止角阀中的泄漏的方法，所述休止角阀用于通过增压气体分配高纯度颗粒物。所述休止角阀包括壳体和布置在壳体中的鞍部、联接到所述鞍部并且穿过所述壳体中的开口延伸的轴、定位在所述轴与所述壳体中的所述开口之间的波浪形密封件、以及通过螺纹与所述壳体接合的压缩构件，所述压缩构件构造成在所述压缩构件上紧时在所述波浪形密封件上施加压缩力。该方法包括检测增压气体和高纯度颗粒物其中之一通过所述壳体中的所述开口的第一泄漏。然后当检测到第一泄漏时，将所述压缩构件以第一量上紧。将所述压缩构件以第一量上紧导致施加在所述波浪形密封件上的第一力，所述第一力使所述波浪形密封件在所述轴与所述壳体中的所述开口之间横向扩张，以便通过减少或消除所述第一泄漏来修复所述第一泄漏。将所述压缩构件以第一量上紧允许所述轴相对于所述壳体中的所述开口转动。存在对以上各个方面中提及的特征的各种改进。其它特征也可以结合在上述各个方面中。这些改进和附加特征可以单独地或以任何组合存在。例如，下文在任何示出的实施方式中讨论的各种特征可以单独地或以任何组合结合到任何上述方面中。附图说明图1是休止角阀系统的局部示意图；图2是用在图1的阀系统中的休止角阀的第一实施方式的正视图；图3是图2的休止角阀的俯视图；图4是图1的休止角阀的透视图，其中移除了阀的一些部分。图5是图2的休止角阀的局部横截面视图；图6是用在图1的阀系统中的休止角阀的第二实施方式的正视图；图7是图6的休止角阀的俯视图；图8是图6的休止角阀的局部横截面视图；图9是用在图6的休止角阀中的波浪形密封件的侧视图；以及图10是描绘了修复休止角阀中的泄漏的方法的流程图。具体实施方式现参见这些图，尤其参见图1，一种休止角阀系统总体上以100表示并且下文称作“阀系统”。图1的阀系统100用于控制颗粒物102从第一容器110到第二容器120的流动。在一个实施方式中，颗粒物102是用在包括半导体晶片在内的硅产品的制造中的原材料(例如粒状多晶硅)。在其他实施方式中，颗粒物102可以是其他材料，其在尺寸上足够小以便能够流入和流出所述阀系统100，从而直径上的尺寸范围可以从大约0.060英寸到大约1.0英寸。在图1的阀系统100中，第一容器110竖直布置在休止角阀130上方，第二容器120竖直布置在休止角阀下方。在图2-8中示出了休止角阀130的各种实施方式并且在下面将更详细地讨论。轴132联接到所述休止角阀130并且从所述休止角阀130向外延伸。所述轴132继而联接到驱动源134(例如马达或致动器)，所述驱动源134可操作以使所述轴和连接到所述轴的休止角阀130的元件转动。所述驱动源134由合适的控制系统(未示出)控制。第一管140将所述第一容器110联接到休止角阀130并且允许颗粒物102从所述第一容器流入所述休止角阀。所述第一容器110在此实施方式中联接到增压气体源，以辅助颗粒物102从所述第一容器流入所述第一管140和所述休止角阀130。在另一个实施方式中，不使用增压气体，而是仅依靠重力将颗粒物102从第一容器110输送到第一管140和休止角阀130中。第二管150将常规阀160联接到休止角阀130。常规阀160是能够防本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2010.06.08 US 12/796,3551.一种用于分配颗粒物的休止角阀，该阀包括：
壳体，所述壳体具有入口、出口、具有圆周边缘的开口、以及内腔；
从所述入口伸入所述壳体的内腔中的管，该管在所述壳体的内腔中具
有终端；
布置在所述壳体的内腔中的鞍部，所述鞍部竖直地布置在所述管的终
端下方，所述鞍部具有捕获构件；
联接到所述鞍部的轴，所述轴延伸穿过所述壳体中的开口的圆周边缘
并构造成联接到驱动器；
波浪形密封件，所述波浪形密封件至少邻近限定所述壳体中的穿有所
述轴的所述开口的圆周边缘布置，所述波浪形密封件具有空腔，所述轴穿
过所述空腔；
与所述壳体接合的压缩构件，所述压缩构件构造成在所述波浪形密封
件上施加力，以相对于所述壳体中的所述开口的圆周边缘与所述轴的至少
其中之一扩张所述波浪形密封件；以及
其中，所述鞍部能够由所述轴在第一位置与第二位置之间转动，其中
在第一位置上，能够使颗粒物无阻碍地流过所述捕获构件，在第二位置上，
所述捕获构件竖直地布置在所述管的终端下方，使得颗粒物不能流过所述
鞍部。
2.根据权利要求1所述的休止角阀，其特征在于，所述压缩构件具
有形成在其中的开口，该开口平行于压缩构件的纵向轴线；所述轴延伸穿
过所述壳体中的所述开口、所述波浪形密封件中的所述空腔和所述压缩构
件中的所述开口。
3.根据权利要求1所述的休止角阀，其特征在于，所述压缩构件具
有外表面；多个螺纹设置在所述外表面的至少一部分上。
4.根据权利要求3所述的休止角阀，其特征在于，还包括联接到所
述壳体的外表面的密封板，所述密封板具有形成在其中的开口，该开口靠

\t近所述壳体中的所述开口设置；所述压缩构件能够通过螺纹与所述密封板
接合。
5.根据权利要求4所述的休止角阀，其特征在于，所述密封板中的
所述开口具有内表面；多个螺纹设置在所述密封板中的所述开口的内表面
上。
6.根据权利要求5所述的休止角阀，其特征在于，所述密封板的所
述多个螺纹与所述压缩构件的所述多个螺纹接合。
7.根据权利要求6所述的休止角阀，其特征在于，当所述压缩构件
在顺时针和逆时针方向之一上转动时，所述压缩构件在压缩构件上施加力，
使压缩构件在垂直于所述轴的纵向轴线的横向方向上扩张。
8.一种用于分配颗粒物的休止角阀，该阀包括：
壳体，所述壳体具有入口和出口，所述壳体包括多个壁，所述壁具有
至少大约0.95英寸的厚度；
从所述入口伸入所述壳体的内腔中的管，该管具有在所述壳体的内腔
中的终端；
布置在所述壳体的内腔中的鞍部，所述鞍部竖直地设置在所述管的终
端下方，所述鞍部联接到延伸穿过所述壳体中的开口的轴；以及
联接到所述壳体的外表面的密封板，所述密封板中具有邻近所述壳体
中的所述开口布置的开口，所述密封板具有形成在其中的凹槽，所述凹槽
的尺寸设定为用于容纳O形圈，所述密封板构造成使得所述阀能够利用气
体分配颗粒物，所述气体具有每平方英寸至少大约80磅的压力。
9.根据权利要求8所述的休止角阀，其特征在于，还包括布置在所
述壳体的外表面与形成在所述密封板中的所述凹槽之间的第一O形圈，和
布置在所述轴与所述密封板中的所述开口之间的第二O形圈。
10.根据权利要求8所述的休止角阀，其特征在于，还包括靠近所述
壳体的出口设置的阀。
11.根据权利要求8所述的休止角阀，其特征在于，所述鞍部具有开
口，并且能够由所述轴在第一位置与第二位置之间转动，其中在第一位置

\t上，能够使颗粒物流过所述鞍部中的所述开口，在第二位置上，颗粒物不
能流过所述鞍部中的所述开口。
12.一种利用增压气体分配颗粒物的休止角阀，该阀包括：
壳体，所述壳体具有入口、出口、具有圆周边缘的开口、以及内腔，
所述壳体具有多个壁，所述壁具有至少大约0.95英寸的厚度；
...

【专利技术属性】
技术研发人员：R·克罗宁，R·库克，L·弗里，S·布萨拉普，
申请(专利权)人：MEMC电子材料有限公司，
类型：
国别省市：