一种钛铝合金靶材的粉末冶金制备方法技术

本发明专利技术属于粉末冶金制备领域，特别涉及钛铝合金靶材的粉末冶金制备方法。该钛铝合金靶材成分（原子比）为：Ｔｉ∶Ａｌ＝８０％∶２０％～Ｔｉ∶Ａｌ＝２０％∶８０％。上述钛铝合金靶材的粉末冶金制备方法是采用雾化方法得到的钛铝合金粉末或将钛粉和铝粉进行混料，然后经过装粉和冷等静压预压制、脱气工艺后再进行热等静压压制成形，最后进行烧结过程和加工得到钛铝合金靶材。本发明专利技术钛铝合金靶材与现有熔铸靶材相比具有致密性好，无气孔、无疏松和偏析，成分均匀、晶粒细小，规格尺寸大等优点，适用于各种工模具所需的硬质涂层。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于粉末冶金制备领域，特别涉及钛铝合金靶材的粉末冶金制备 方法。
技术介绍
镀膜靶材是获得薄膜材料的基础，随着薄膜科学的飞速发展和薄膜技术 的不断进步，耙材的市场需求量急剧增加，众多厂家也纷纷开展对多种靶材 的研制与生产。其中钛铝合金靶材常用于获得硬质涂层，此材质涂层可大大 提高工具或模具的耐磨性和抗高温性能。根据不同的成分配比，钛和铝之间可以形成多种金属间化合物，如Ti3Al、 TiAl、 TiAl2、 TiAl3等，这些金属间化合物的存在导致了钛铝合金的加工脆 性，特别是当合金中铝含量超过50% (原子比)时这个问题尤为明显。正因 如此，钛铝合金靶材生产工艺较为复杂，技术壁垒较高。有关钛铝合金靶材的生产工艺国内外专利鲜有报道，但国内主要采用熔 铸工艺制造钛铝合金耙材。熔铸工艺制造钛铝合金靶材时，浇铸过程中容易 产生气泡、疏松和偏析；同时合金中成分与组织的均匀性难以保证，导致靶 材品质不稳定，同时规格尺寸偏小，限制了其大规模的工业应用。
技术实现思路
本专利技术的目的是提供一种致密性好，无气？L、无疏松和偏析，成分均匀， 晶粒细小，规格尺寸大的钛铝合金靶材的粉末冶金制备方法本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种钛铝合金靶材的粉末冶金制备方法，该钛铝合金靶材化学成分（原子比）为：Ｔｉ∶Ａｌ＝８０％∶２０％～Ｔｉ∶Ａｌ＝２０％∶８０％，其特征在于该方法包括如下具体步骤：Ａ、制粉或混料可以采用雾化方法制得的符合上述成份配比的钛铝合金粉；或利用纯度为９９．５～９９．９％，粒度为１００～１５０μｍ的钛粉和铝粉，按上述比例在Ｖ型混料机中混合３－５个小时；混料设备是抽真空或用高纯氩气保护的。Ｂ、装粉和冷等静压预压制将混合好的粉末装入冷等静压模具中，在１－２．５吨压力下压制２０－４０分钟。Ｃ、脱气将冷等静压坯放入预先备好的铁包套中，置于脱气炉中进行脱气处理，脱气温度为３００～５００℃，脱气时间根据装粉量不同从１...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：张凤戈，姚伟，唐培新，李群，姜海，张路长，穆健刚，于宏新，鲍学进，孙继洲，
申请(专利权)人：安泰科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：11[中国|北京]