液体分装装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种液体分装装置，包括柜体以及安装于柜体的分装机构，分装机构包括液体供应管、纯水管、第一手动控制阀、电磁控制阀、第二手动控制阀以及按钮，液体供应管的一端外接供应源，另一端接第一手动控制阀，纯水管的一端外接纯水供应源，另一端接第二手动控制阀，电磁控制阀设置于液体供应管上，电磁控制阀与按钮电性连接。本实用新型专利技术可以将远处的液体供应源中的所需液体引到所需要的地方，从而无需人力和车辆进行液体原液罐的运输，同时也避免液体原液罐在运输过程中因发生泄露而造成人员伤害和环境影响。又由于设置有外接纯水供应源的纯水管，因此，可以利用量杯等量取工具，可以进行各种浓度的液体配比，以适应不同分装需求。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及半导体制造领域，尤其涉及一种液体分装装置。
技术介绍
目前，在半导体制造工艺中，很多制程需要清洗液，其中需求量比较大的是异丙醇(IPA,英文全称Isopropyl Alcohol)。异丙醇作为清洗去油剂,主要用于分立器件以及中、大规模集成电路及超大规模集成电路工艺中。同时也是工业上比较便宜的溶剂，用途广，能和水自由混合，对亲油性物质的溶解力比乙醇强。IPA具有危险特性易燃，其蒸气与空气可形成爆炸性混合物，遇明火、高热能引起燃烧爆炸，与氧化剂接触猛烈反应。在高温环境中，受热的容器有爆炸危险。并且，异丙醇蒸气比空气重，能在较低处扩散到相当远的地方，遇火源会着火回燃。现在，当有工艺制程需要特定浓度的IPA时，操作人员先从有机溶剂室搬运大容 量的IPA罐到运输车上，然后开到工艺车间(FAB)，取所需要的IPA原液后，再使之与水配t匕，从而，获取所需浓度的IPA溶液。由此可见，一方面，由于需要搬运IPA罐，因此，费事费力；另一方面，由于IPA有毒且容易挥发，因此，在搬运过程中，容易发生因碰撞而造成的IPA泄露问题，造成人员危险和环境影响。因此，如何提供一种可以安全且高效的液体分装装本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种液体分装装置，其特征在于，包括柜体以及安装于所述柜体的分装机构，所述分装机构包括液体供应管、纯水管、第一手动控制阀、电磁控制阀、第二手动控制阀以及按钮，所述液体供应管的一端外接供应源，另一端接第一手动控制阀，所述纯水管的一端外接纯水供应源，另一端接第二手动控制阀，所述电磁控制阀设置于所述液体供应管上，所述电磁控制阀与所述按钮电性连接。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：朱江宁，丁秀萍，周鹏，太双，刁春华，
申请(专利权)人：中芯国际集成电路制造上海有限公司，
类型：实用新型
国别省市：