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本实用新型公开了一种液体分装装置，包括柜体以及安装于柜体的分装机构，分装机构包括液体供应管、纯水管、第一手动控制阀、电磁控制阀、第二手动控制阀以及按钮，液体供应管的一端外接供应源，另一端接第一手动控制阀，纯水管的一端外接纯水供应源，另一端接...
该专利属于中芯国际集成电路制造（上海）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中芯国际集成电路制造（上海）有限公司授权不得商用。

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