机电开关装置及其操作方法制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种机电开关装置（100、200），其包括第一开关部分（111、112、211、212）、第二开关部分（121、122、220）和致动器装置（130、230）。所述致动器装置（130、230）被配置为提供致动力，由此使所述第一和第二开关部分（111、112、121、122、211、212、220）相对于彼此被致动，以从断开状态改变为连接状态。所述致动器装置（130、230）还被配置为至少当所述第一和第二开关部分（111、112、121、122、211、212、220）处于连接状态时，提供具有调制的致动力。本发明专利技术还涉及一种操作机电开关装置（100、200）的方法。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及机电开关装置，例如微机电开关装置或纳机电开关装置，并涉及其操作方法。
技术介绍
具有微米和纳米范围的尺寸的机电开关，也被称为微机电(MEM)和纳机电(NEM)开关，被认为是诸如晶体管和pin 二极管的传统固态开关的有吸引力的备选者。这是因为其具有较小的功率要求且具有较理想的开关特性(低损耗、线性、快速切换)。与固态开关相t匕，通过机电开关执行的切换操作包括两个开关部分相对于彼此在断开(“打开”)位置与连接(“闭合”)位置之间的机械致动或运动，从而阻止或允许电流通过电路。MEM开关以例如在用于电信系统的可重构孔径和相控阵列、用于卫星通信的开关 网络以及用于无线应用(便携式单元和基站)的单极N掷开关中的例如RF (射频)应用为目标。最近，已开发了 NEM开关，其受到用于逻辑应用的较理想且较低功率的开关元件的前景的驱动。这样的开关可提供如接近零泄露的属性，提供具有纳秒级的机械延迟的非常陡峭的亚阈值斜率，以及皮秒级的电气时间常数。但是，机电开关技术的吸引力受到相对差的可靠性的限制。特别地，用于极大数目的开关操作循环的可靠电气开关证明是困难的。机电开关实际上已被商业化，用于切换本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：M·德蓬，C·哈格雷特纳，C·波兹蒂斯，A·塞巴斯蒂安，
申请(专利权)人：国际商业机器公司，
类型：
国别省市：