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用于对准光学元件的基于MEMS的杠杆及其使用制造技术

技术编号:8275113 阅读:149 留言:0更新日期:2013-01-31 11:42
本发明专利技术涉及一种基于将光学组件安装在释放的微机械杠杆配置上的基于MEMS的对准技术,所述释放的微机械杠杆配置使用多个挠曲件而非单个弹簧。所述光学组件可为透镜。多个挠曲件的所述使用可减少透镜旋转与透镜平移之间的耦合,且减少杠杆手柄翘曲对透镜位置的影响。可针对各种几何形状来优化装置。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本申请案涉及光纤通信的领域,且更特定来说,涉及用于将激光源光学耦合到光纤或其它波导的光学封装技术。
技术介绍
用于长通信距离及都市光纤电信链路的光学模块(例如激光器、调制器、分配器、增/减多路复用器及接收器)通常含有许多小的组件,例如镜、分束器、检测器及必须仔细对准且附接于适当位置中以实现光学耦合的其它精密组件。此些光纤链路使用具有几微米的模式大小的单模光纤。因此,所有这些组件均需要精密对准,此大大地增加了此些模块的成本且降低了制造成品率。2010年2月I日提出申请的美国专利申请案12/698,086论述一种允许使用基于MEMS的平台来精确定位光学组件的封装技术。例如激光器的有源元件与PLC波导之间的光学耦合是通过精确对准安装在与锚定点及手柄形成杠杆的可调整固持器上的微透镜来完成。使所述手柄移动致使所述微透镜移动所述手柄所行进的距离的某一小分数。因此,明显简化了对准。
技术实现思路
在一个方面中,本专利技术提供一种用于定位光学组件的机构,其包括第一挠曲件,其耦合到底座;结构,其耦合到所述第一挠曲件,所述结构大体呈四边形的形式,所述结构包含若干对挠曲件中的具有第一定向方向的第一对及所述若本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员:巴蒂阿·佩泽什基米歇尔·谢尔贝克丁·托恩
申请(专利权)人:凯亚光电
类型:
国别省市:

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