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用于对准光学元件的基于MEMS的杠杆及其使用制造技术
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文档序号:8275113
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本发明涉及一种基于将光学组件安装在释放的微机械杠杆配置上的基于MEMS的对准技术,所述释放的微机械杠杆配置使用多个挠曲件而非单个弹簧。所述光学组件可为透镜。多个挠曲件的所述使用可减少透镜旋转与透镜平移之间的耦合,且减少杠杆手柄翘曲对透镜位置...
该专利属于凯亚光电所有,仅供学习研究参考,未经过凯亚光电授权不得商用。
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