一种用于装调或检测光学元件的计算机生成全息元件制造技术

本发明专利技术提供一种用于装调或检测光学元件的计算机生成全息元件，其包含了一个或多个功能区域，不同功能区域为不同的光栅结构，它们分别是透射主全息区域（301）、反射对准全息区域（302）、基准全息区域（303）和投射全息区域（304）。在进行装调或检测光学元件工作时，使用本发明专利技术的计算机生成全息元件具有精度高、操作方便等优点，适合于需要对某些系统进行定位、瞄准或导向的生产企业和科研单位使用。

【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于光学测试领域，尤其涉及一种用于装调或检测光学元件的计算机生成全息(CGH, Computer Generated Hologram)兀件。
技术介绍
计算全息(CGH)将先进的计算机技术与光全息技术结合起来，可以实现光全息术无法实现或难以实现的某些特殊功能。如光全息术是利用光的干涉原理，借助于参考光将物光的复振幅记录在感光材料上，能够实现这种记录的必要条件之一是物体的真实存在。然而在很多实际应用中理想的“物体”是很难制作成功的，例如，用于检测光学元件加工质量的标准件，用于光学信息处理的各种特殊的空间滤波器，用于数据存储系统的相移器，用于工程设计的复杂模型，等等。但是，用计算全息(CGH)就不难实现了。与光学全息相比，计算全息(CGH)还具有噪声低、重复性高、抗干扰能力强和能提前考虑误差因素的优点。因 此，近年来，计算全息(CGH)发展极其迅速，己应用在三维显示、全息干涉计量、空间滤波、光信息存储和激光扫描等诸多方面，随着计算机技术的日趋成熟和普及，计算全息(CGH)越来越受到人们的重视。计算全息(CGH)最重要和最有价值的应用是用于干涉测试，应用它再现和存储一些特殊形式的现实本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于装调或检测光学元件的计算机生成全息元件，其特征在于：该元件包含了一个或多个功能区域，不同功能区域为不同的光栅结构，它们分别是透射主全息（301）、反射对准全息（302）、基准全息（303）和投射全息（304）；所述透射主全息（301）是位相型光栅，而反射对准全息（302）、基准全息（303）、投射全息（304）选取位相型光栅或振幅型光栅，所谓位相型光栅是指通过直接改变光波面的位相来实现衍射和干涉的光栅，所谓振幅型光栅是指通过改变不同区域处光波面振幅来实现衍射和干涉的光栅。

【技术特征摘要】
1.一种用于装调或检测光学元件的计算机生成全息元件，其特征在于该元件包含了一个或多个功能区域，不同功能区域为不同的光栅结构，它们分别是透射主全息(301)、反射对准全息(302)、基准全息(303)和投射全息(304);所述透射主全息(301)是位相型光栅，而反射对准全息(302)、基准全息(303)、投射全息(304)选取位相型光栅或振幅型光栅，所谓位相型光栅是指通过直接改变光波面的位相来实现衍射和干涉的光栅，所谓振幅型光栅是指通过改变不同区域处光波面振幅来实现衍射和干涉的光栅。2.根据权利要求I所述的用于装调或检测光学元件的计算机生成全息元件，其特征在于所述计算机生成全息元件各区域均由结构呈周期性变化的一个或多个光栅组成；所述计算机生成全息元件(3)的各区域根据实际情况可选取不同的光栅周期、占空比和刻槽位相深度，所谓占空比是指刻槽宽度和条纹周期的比值，所谓刻槽位相深度是由刻槽引起的光线光程改变量，它与基片的折射率和刻槽几何深度相关；所述基准全息(303) —般由相互对称的两部分或多部分组成；所述透射主全息(301)、基准全息(303)和投射全息(304)三个区域的表面覆盖增透射膜，而反射对准全息(302)区域的表面覆盖增反射膜。3.根据权利要求I所述的用于装调或检测光学元件的计算机生成全息元件，其特征在于所述计算机生成全息元件(3)四个区域处的光栅被使用激光直写等手段刻蚀在基片的同一个表面上，该基片为融石英等具有合适折射率的透明材料；所述计算机生成全息元件(3)四个区域处的光栅之间预留有便于分次曝光的间隙区域；所述计算机生成全息元件(3)四个区域处的光栅面积大小和分布位置受各自使用的衍射级次和现阶段加工、检测水平的影响，四个区域...

【专利技术属性】
技术研发人员：邓超，冯婕，邢廷文，许嘉俊，
申请(专利权)人：中国科学院光电技术研究所，
类型：发明
国别省市：