一种用于偏振光产生和检测的复合波片组的优化设计方法技术

本发明专利技术公开了一种用于偏振光产生和检测的复合波片组的优化设计方法，首先计算由两个正晶片组成的第一复合波片对任意入射面、任意入射角度入射的光波产生的两个正交分量的相位延迟，两个负晶片组成的第二复合波片对任意入射面、任意入射角度入射光波产生的两个正交分量的相位延迟，第一复合波片和第二复合波片组成的复合波片组对任意入射面、任意入射角度的光波产生的两个正交分量的总的相位延迟。然后对四个晶片的厚度进行优化设计，使不同入射面、不同角度入射光的两个正交分量之间的相位延迟量的差别小于±0.5度，由此提高了偏振检测的精度。该方法适用在任意入射面内、以任意角度入射到四片及4片以上波片构成的复合波片组的情况。

【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于偏振光传播理论、偏振器件性能表征、偏振器件设计、偏振光产生和检测的
，具体涉及一种用于高数值孔径成像系统偏振光产生和检测的复合波片及复合波片组的优化设计方法。
技术介绍
高分辨成像需要大数值孔径(NA)偏振成像技术与系统，例如高分辨偏光显微镜或高数值孔径浸没式光刻机。但是，高NA偏振成像系统中需要产生偏振光、检测和控制偏振光特性。产生偏振光、检测光的偏振态和控制光学系统引起的偏振效应需要在系统中置入各类波片(全波片、1/4波片、1/2/波片或任意波片)，实现任意角度入射的偏振光经过波片 后，其光矢量的两个正交分量产生特定的相位延迟。通常，由一片波片制成的零级波片(如零级1/4波片，1/2波片或全波片)太薄而难于制作，由两片具有相同折射率的波片构建的复合波片，可以解决这个问题，即第一片波片的快轴与第二片波片的慢轴重合，调整两个晶片的厚度，使这两片波片的厚度差等于零级波片的厚度。但是，在给定的高数值孔径(ΝΑ>0. 6)成像光学系统中，360度入射面内入射的光波被某一物点衍射的多级衍射光以不同角度入射到波片上，这些不同入射面内、不同角度入射的偏振光波通过波片后，其光矢本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于偏振光产生和检测的复合波片组的优化设计方法，其特征在于，该方法包括如下步骤：步骤1、计算求得入射光波经过第一复合波片后的p分量和s分量之间的相位延迟δ1：δ1=2πd1λ(neq2-neq2cos2θ+noq2sin2θnoq2sin2α-noq2-sin2α)+2πd2λ(noq2-sin2α-neq2-neq2sin2θ+noq2cos2θnoq2sin2α)所述第一复合波片包括两片光轴互相垂直，厚度为d1的第一正晶片和厚度为d1的第二...

【技术特征摘要】
1.一种用于偏振光产生和检测的复合波片组的优化设计方法，其特征在于，该方法包括如下步...

【专利技术属性】
技术研发人员：李艳秋，董娟，
申请(专利权)人：北京理工大学，
类型：发明
国别省市：