一种双端泵浦腔内和频355nm波长紫外固体激光器制造技术

本实用新型专利技术公开了一种双端泵浦腔内和频355nm波长紫外固体激光器。激光器由LD泵浦源、双端泵浦耦合系统、折叠谐振腔、激光晶体、Q开关、倍频及和频晶体组成；耦合系统由两对平凸透镜将泵浦光准直聚焦，通过棱镜进行光路转折实现双端泵浦，使激光器结构紧凑，方便应用；采用简洁的三折叠腔实现腔内倍频、和频，提高紫外光输出功率及晶体使用寿命；倍频及和频晶体LBO采用温度相位匹配，和频晶体LBO一端以布儒斯特角切割，将腔内基频光与倍频光及和频产生的355nm波长紫外光分开，避免紫外光对透射膜层的损坏，实现355nm紫外激光稳定输出。（*该技术在2021年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种紫外固体激光器，特别是一种半导体激光双端泵浦腔内和频355nm波长紫外固体激光器。
技术介绍
紫外激光具有高的光子能量，在材料加工过程中直接破坏许多非金属材料的分子键而实现“冷”加工，此加工过程具有光滑的边缘和最低限度的炭化影响；另外紫外激光波长短，聚焦性能优异，适合微细结构加工。LD端面泵浦紫外固体激光器具有光束质量好、体积小、使用方便等优点，在医用塑料、微电子等微加工领域具有良好的应用。由于紫外固体激光器涉及复杂的倍频、和频技术问题，许多单位及科研院所进行了大量研究。主要采用的技术有腔内和频及腔外和频两种方式。腔外和频方式稳定性好，但为了提高单次转化效率， 和频晶体中聚焦光斑小，晶体易坏，不易长时间工作。腔外和频则由于腔内基频光功率高，单次谐波转换效率要求低，有效避免了晶体易坏问题，但腔内和频三个波长同时存在，彼此能量交换，输出稳定性不易控制。目前国外公司已推出系列LD泵浦紫外激光器产品，国内则处于起步阶段，现有技术方案中大多涉及多波长的膜层镜片，特别是紫外光透射膜层容易损坏，LD泵浦光耦合方式不够紧凑，输出功率和稳定性有待进一步提高等问题。技术内容本技术的目的是本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种双端泵浦腔内和频355nm波长紫外固体激光器，由LD泵浦源、双端泵浦耦合系统、折叠谐振腔、激光晶体、Q开关、倍频及和频晶体LBO组成，其特征在于：双端泵浦光耦合系统由两对平凸透镜分别构成泵浦光准直镜和聚焦镜，两路光纤端输出的泵浦光通过准直镜准直，一路直接由聚焦镜耦合到激光晶体内，另一路则通过全反射棱镜实现光路回转，然后由聚焦镜耦合到激光晶体内，实现双端泵浦；折叠谐振腔由前端反射镜、后端反射镜和两片折叠反射镜构成简单的三折叠形式；激光晶体放置在两折叠反射镜之间的中间光路；Q开关放置在后端反射镜和折叠反射镜之间光路中靠近后端反射镜的位置；倍频晶体LBO靠近前端反射镜放置，和频晶体LBO则靠近倍...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：姚育成，李子强，黄楚云，程刚，郑伯然，
申请(专利权)人：湖北工业大学，湖北华中光电科技有限公司，
类型：实用新型
国别省市：