【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种PECVD设备的
，尤其是一种电阻炉。
技术介绍
现有的电阻炉热量容易向外散失，造成炉体内温度不均衡，影响热处理的效果，增加了能源的浪费，而且电阻丝的密封的空间里工作热量难以散发，致使电阻丝熔断，缩短了电阻丝的使用寿命。
技术实现思路
为了克服现有的电阻炉密封性差、能源浪费大以及电阻丝使用寿命短的不足，本技术提供了一种电阻炉。本技术解决其技术问题所采用的技术方案是一种电阻炉，包括炉体、炉底、·凹槽，凹槽内设有电阻丝。根据本技术的另一个实施例，进一步包括电阻丝上方设有散热板。本技术的有益效果是，这种电阻炉结构简单、紧凑并且合理，装配方便快捷，连接可靠，高效节能，密封效果好，可以防止热量大量流失，减少了能源的浪费，延长了电阻丝的使用寿命，大大提高了电阻炉工作的可靠性，易于使用推广。以下结合附图和实施例对本技术进一步说明。图I是本技术的结构示意图。图中I.炉体，2.炉底，3.凹槽，4.电阻丝，5.散热板，11.保温层，12.耐火层。具体实施方式如图I是本技术的结构示意图，一种电阻炉，包括炉体I、炉底2、凹槽3、电阻丝4、保温层11和耐火层12，炉体I与炉底2连接，炉体I由保温层11和耐火层12组成，炉底2内设有凹槽3，凹槽3内设有电阻丝4，电阻丝4上方设有散热板5。使用时，炉体I与炉底2连接，炉体I由保温层11和耐火层12组成，炉底2内开有凹槽3，凹槽3内安装有电阻丝4，电阻丝4上方设有散热板5。这种电阻炉结构简单、紧凑并且合理，装配方便快捷，连接可靠，高效节能，密封效果好，可以防止热量大量流失，减少了能源的浪费，延长了电阻丝的使用寿命，大大提高了...
【技术保护点】
一种电阻炉，包括炉体（1）、炉底（2）、凹槽（3）、电阻丝（4）、保温层（11）和耐火层（12），炉体（1）与炉底（2）连接，其特征是，炉体（1）由保温层（11）和耐火层（12）组成，炉底（2）内设有凹槽（3），凹槽（3）内设有电阻丝（4）。
【技术特征摘要】
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