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本实用新型涉及一种PECVD设备的技术领域，尤其是一种电阻炉。其包括炉体、炉底、凹槽、电阻丝、保温层和耐火层，炉体与炉底连接，炉体由保温层和耐火层组成，炉底内设有凹槽，凹槽内设有电阻丝，电阻丝上方设有散热板。这种电阻炉结构简单、紧凑并且合理...
该专利属于沈文伟所有，仅供学习研究参考，未经过沈文伟授权不得商用。

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