有源矩阵基板和显示面板制造技术

一种有源矩阵基板(20a)，包括：呈矩阵状设置的多个像素电极(18a)；和多个TFT(5)，该多个TFT(5)与各像素电极(18a)分别连接且包括设置于绝缘基板(10a)的栅极电极(11a)、以覆盖栅极电极(11a)的方式设置的栅极绝缘膜(12a)、在栅极绝缘膜(12a)上以与栅极电极(11a)重叠的方式设置有沟道区域(C)的半导体层(16a)、和在栅极绝缘膜(12a)上以隔着半导体层(16a)的沟道区域(C)彼此分离的方式利用铜或铜合金设置的源极电极(15aa)和漏极电极(15b)，半导体层(16a)利用氧化物半导体以覆盖源极电极(15aa)和漏极电极(15b)的方式设置。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及有源矩阵基板和显示面板，特别涉及使用了铜配线的有源矩阵基板和具有该有源矩阵基板的显示面板。
技术介绍
构成液晶显示面板等显示面板的有源矩阵基板，具有以彼此平行延伸的方式设置的多个栅极配线；和在与各栅极配线正交的方向上以彼此平行延伸的方式设置的多个源极配线等显示用配线。该有源矩阵基板中，近年来，提出了与半导体器件同样地使用电阻比现有的铝配线低的铜配线作为上述显示用配线的配线结构。此处，具有使用铜配线的有源矩阵基板的液晶显示面板中，如上所述，因为铜配线·的电阻比较低，所以使用铜配线的配线结构有利于液晶显示面板的大画面化、高精细化、倍速驱动显示化和低耗电化等，但在其制造工序或高温高湿气氛下的动作中，铜配线中的铜容易扩散到非晶硅膜或氧化硅膜中，例如在铜扩散到TFT的背沟道一侧的情况下，会产生TFT的阈值电压(Vth)发生变动的问题，而在铜扩散到液晶材料中时，会产生液晶材料发生劣化的问题。例如，专利文献I中公开了一种显示装置，在显示元件所使用的电极层中，将对显示元件中使用的液晶材料或发光材料等造成污染的离子性杂质的浓度降低至IOOppm以下。现有技术文献专利文献专利文献I :特本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：铃木正彦，近间义雅，水野裕二死亡，太田纯史，吉田德生，中川兴史，春本祥征，宫本惠信，山下彻也，
申请(专利权)人：夏普株式会社，
类型：
国别省市：