用于沉积印刷迹线的设备的印刷基板的支撑和输送单元,以及相关沉积方法技术

本发明专利技术涉及用于沉积印刷迹线的设备的印刷基板的支撑和输送单元，以及相关沉积方法，提供了一种用于设备(11)的印刷基板(12)的支撑和输送单元，其中设备(11)用于沉积由导电或非导电材料制成的印刷迹线，所述印刷基板(12)设置有在第一表面(55)与所述第二表面(56)之间延伸的孔(57)。支撑单元包括第一流体动力回路(32)和第二流体动力回路(33)，其中第一流体动力回路(32)适合于产生第一吸入条件以使基板(12)保持附着到支撑单元的支撑表面(113)上，第二流体动力回路(33)不同于并且至少部分地独立于第一流体动力回路，其适合于产生第二受控的吸入条件，该第二受控的吸入条件能够允许利用导电或非导电材料对孔(57)的受控填充。

【技术实现步骤摘要】
,以及相关沉积方法
本专利技术的方面一般地涉及用于在基板上沉积印刷材料的方法和设备。本文所提出的一些实施例涉及例如在丝网印刷、喷墨印刷、激光印刷或其他技术中、用于沉积印刷迹线的设备的用于印刷基板的支撑和输送装置。实施例可用于例如通过在基板、板或诸如晶片、箔片或硅基物体等相似元件上使用多层图案印刷导电迹线，来制作光伏电池。实施例也可以与来自提供印刷操作的其他领域的印刷支撑元件一起使用。
技术介绍
已知用于制造太阳能电池、光伏电池或类似的半导体装置的印刷机械，其利用单元(cell)、使用丝网印刷方法、通过适合的导电材料或者导电衆料(conductive paste)或接触浆料来实现电子电路和接触。在这样的方法中一般使用的印刷机械包括与直线型输送机或者具有旋转工作台的机器相关联的适合的工作站，也叫做印刷巢，其中各个单元在支撑单元上远离工作站和朝向工作站移动。印刷巢具有工作表面或平面，其中要被处理的基板每次都搁置在所述工作表面或平面上。更具体而言，印刷巢包括设置有流体动力回路的支撑表面，其中流体动力回路具有相互连接的多个通道，其中多个通道朝向布置基板的表面开口，以制作单元。流体动力回路与吸入装置相关联，其中吸入装置可以确定吸力(或比环境压力低的压力)和/或基板上的局部真空的状态，以保持基板附着到印刷巢上并且防止基板从正确的印刷位置移动。诸如卷烟纸等透气材料(transpirable material)层布置在印刷巢的表面与基板之间，以防止印刷巢的表面在单元的印刷期间变脏，并且防止基板在其下表面上受到损坏。一种方法用于将基板放置在印刷巢上，并且然后将基板带入用于印刷操作的工作站。在印刷操作期间，在基板的面向印刷机械的表面上，制作导电迹线并且将(通过基板)的孔金属化。在金属化过程期间，孔完全或部分地填充金属浆料(例如银基金属浆料)，其中金属浆料在单元的前表面(连接件可以直接连接到该前表面)与后表面之间具有导电和/或接触功能。在印刷操作期间，吸入回路的启动具有正确地利用导电浆料填充存在于基板中的孔的功能。这允许使用所印刷的材料的流体性质。因此，印刷巢所具有的流体动力回路执行在印刷期间保持要被印刷的基板的功能以及移动该基板的功能两者，以及在印刷步骤中提供正确地并且完全地填充孔的功能。然而，在该操作期间，经常发生导电浆料从基板泄露并且弄脏透气材料层的情况，其中透气材料层必须更换或恢复。为此，印刷巢通常设置有装载器以加载透气材料层，其中该装载器包括与移动装置相关联的进给卷轴和收集卷轴。假设印刷机械的较高生产力，需要透气材料层的频繁更换以防止其被沉积成形成不必要的厚度(其中随后的晶片搁置在其上)，这可能导致印刷缺陷和/或可能弄脏随后的晶片。因此，透气材料的频繁更换可能引起不必要的导电条件和低质量的印刷。透气材料的频繁更换也可能弓I起用于更换带的频繁停工，伴随着由于更换的带而带来的增加的成本。此外，透气材料的频繁更换可能引入在放置和制造随后的晶片时的发生错误的可能性。而且，如果流体动力回路执行保持基板附着到印刷巢上的功能以及允许填充基板的孔的功能，由于这两个功能需要不同的工作压力，因此可能不能正确地控制这两个动作。这在大多数时候导致基板的孔的非受控的填充以及浆料从单元的背面的不必要的泄露。因此，需要提供在用于印刷迹线的沉积的设备中支撑和输送印刷基板的设备和方法，其可避免导电浆料因意外而泄 露。还需要基本上消除在前面的步骤中使用的印刷浆料意外地进入随后的印刷操作。另一个需要是提供这样的设备和方法，该设备和方法允许将由于更换带而产生的停工时间和成本以及由于印刷支撑件在带上的不正确定位而产生的可能的印刷错误、限制为最低限度。还需要通过适当地控制对基板的孔的填充水平来减少印刷浆料的浪费，从而可以调节金属在孔内部的水平，从而可以是齐平的或者部分突出的。申请人:已经设计并测试了实施例，以克服本领域的状态的缺点并且实现这些和其他的目的和优势。
技术实现思路
在独立权利要求中陈述并且描述了本专利技术，而从属权利要求描述了本专利技术的其他特征或对主要专利技术思想的改变。在一个实施例中，提供了用于支撑和输送用于沉积印刷迹线的基板的装置，该装置包括支撑板，其具有支撑表面，该支撑表面适合于支撑放置在支撑表面上的基板；第一流体动力回路，其被配置为在支撑板的支撑表面的一个或多个第一区域中产生第一吸入条件、以维持基板附着到支撑表面上；以及第二流体动力回路，其被配置为在支撑板的支撑表面的一个或多个第二区域中产生第二吸入条件，其中一个或多个第二区域被布置成在基板搁置在支撑表面上时、与基板中的一个或多个孔流体地连通。在其他实施例中，第二吸入条件被配置为，受到控制以允许使用导电材料对基板中的一个或多个孔的受控填充。在另一个实施例中，支撑表面还包括多个第一孔和多个第二孔，多个第一孔与第一流体动力回路流体地连通，多个第二孔与所述第二流体动力回路流体地连通，并且第一孔和第二孔至少部分地朝向支撑表面开口。在又一实施例中，第二孔的至少一些被布置成在基板搁置在支撑表面上时与基板的孔对齐。而且，第二孔的至少一些可以具有在支撑表面附近终止的喇叭形部分。此外，覆盖元件可以至少部分地布置在多个第二孔的至少一个的内部，其中覆盖元件相对于支撑表面缩进、以至少部分地覆盖至少一个第二孔。覆盖元件可以至少部分地布置在具有喇叭形部分的多个第二孔的至少一个的内部，其中覆盖元件相对于支撑表面缩进、以至少部分地覆盖至少一个第二孔，其中覆盖元件布置在第二孔的喇叭形部分的内部。在另一个实施例中，所述装置还包括控制单元，所述控制单元被配置为在第二流体动力回路中控制在时间的不同时刻处且对于确定的时间间隔作用的至少第一水平的吸入压力和第二水平的吸入压力。在又一实施例中，所述装置可以包括第一吸入装置，其用于产生第一吸入条件；以及第二吸入装置，其用于产生第二吸入条件。在另一个实施例中，所述装置可以包括第一吸入单元，其与第一流体动力回路流体地连通；以及第二吸入单元，其独立于第一吸入单元，并且与第二流体动力回路流体地连通。在又一实施例中，第一流体动力回路可以至少部分地独立于第二流体动力回路，并且所述装置还包括基底元件，其耦合到第一气动连接件和第二气动连接件；支撑平台，其布置在基底元件的上方；以及扩散元件，其布置在支撑平台的上方，其中支撑板布置在扩散元件的上方。而且，所述装置可以包括一个或多个管道，其形成在支撑平台与基底元件之间；以及在支撑平台中的一个或多个孔，其与一个或多个管道流体地连通，并且与支撑表面中的第一孔流体地连通。此外，所述装置可以包括在基底元件中的腔体，该腔体与第二气动连接件流体地连通；第一空隙，其形成在支撑平台与扩散元件之间，其中第一空隙与在基底元件中的腔体 流体地连通；以及第二空隙，其形成在扩散元件与支撑板之间，其中第二空隙被配置成，通过在扩散元件中的多个孔以及在扩散元件的周界边缘与支撑平台之间的间隙中的一者或两者、与第一空隙流体地连通，并且其中所述第二空隙与在支撑板的支撑表面中的第二孔流体地连通。在其他实施例中，提供了用于在在印刷基板上沉积导电或非导电材料的方法，所述方法包括以下步骤放置印刷基板，使得基板的第一表面布置在支撑和输送单元的支撑表面上；使用印刷头将导电或非导电材料沉积在基板的第二表面上，其中基本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于支撑和输送基板的装置，所述基板用于沉积印刷迹线，所述装置包括：支撑板，其具有支撑表面，所述支撑表面用于支撑放置在所述支撑表面上的基板；第一流体动力回路，其被配置为在所述支撑板的所述支撑表面的一个或多个第一区域中产生第一吸入条件、以维持所述基板附着到所述支撑表面上；以及第二流体动力回路，其被配置为在所述支撑板的所述支撑表面的一个或多个第二区域中产生第二吸入条件，其中所述一个或多个第二区域被布置成在所述基板搁置在所述支撑表面上时、与所述基板中的一个或多个孔流体地连通。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：詹佛朗哥·帕斯奎林，马科·加里亚左，戴戈·唐尼，瓦伦蒂娜·福林，乔达诺·洛克，乔治欧·塞勒里，
申请(专利权)人：应用材料意大利有限公司，
类型：发明
国别省市：