【技术实现步骤摘要】
本技术涉及晶体硅太阳能电池
，具体涉及一种用于晶体硅太阳能电池扩散工序的石英舟叉。
技术介绍
扩散工序在晶体硅太阳能生产过程中形成PN结的工段，其主要原理是在含硼的高纯硅基体上沉积一层磷原子的过程。该工序要求洁净度高，所用工装夹具不能被金属离子或粉尘污染，其中包括作为硅片载体的石英舟亦是如此。石英舟作为硅片的载体将硅片支撑与垂直方向呈5°的倾斜角放入高温扩散炉(> 600°C)内沉积磷原子，以形成PN结。目前大多厂家选择小石英舟用于生产，但在运转小石英舟时，为避免污染石英舟，需有种运转石英舟的石英舟叉。目前扩散工序使用的石英舟叉结构复杂，损坏其中一个部件时即将整个石英舟叉报废，生产成本高。
技术实现思路
本技术所要解决的技术问题是提供一种结构简单、便于操作、成本低的用于晶体硅太阳能电池扩散工序的石英舟叉。为解决上述问题，本技术提供一种用于晶体硅太阳能电池扩散工序的石英舟叉，该石英舟叉包括底板、用于固定石英舟的U形挡板，所述底板包括左侧用于支撑石英舟的平板和右侧用于手握的握杆，所述挡板与握杆连接且挡板的两侧支脚朝向底板的平板。U形挡板即挡板的形状为U形，即挡板...
【技术保护点】
一种用于晶体硅太阳能电池扩散工序的石英舟叉，其特征在于：包括底板、用于固定石英舟的U形挡板（1），所述底板包括左侧用于支撑石英舟的平板（2）和右侧用于手握的握杆（3），所述挡板（1）与握杆（3）连接且挡板（1）的两侧支脚（？4）朝向底板的平板（2）。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：吴艳芬，詹国平，余涛，陈筑，刘晓巍，刘伟，
申请(专利权)人：宁波尤利卡太阳能科技发展有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
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