一种耦合微腔紫外单频微流激光器制造技术

本发明专利技术属于激光技术领域，具体为一种耦合微腔紫外单频微流激光器。本发明专利技术公开了一种耦合微腔紫外单频微流激光器，本器件适合激光领域制作结构简单的单频紫外激光器，分别由一个内通增益介质的微管和一个微柱组成，根据复合腔选模的原理，当两个尺寸不同的圆形微腔进行耦合形成耦合腔系统，自由光谱范围被扩展（即游标效应），在最低的阈值实现单频激射，为解决紫外波段高反射率DBR反射镜和光栅需要较高工艺水平提供了一个简单有效的途径。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于激光
，具体涉及一种耦合微腔紫外单频微流激光器。
技术介绍
对于波长小于400nm的大部分紫光对人眼来说是不可见的，我们称之为紫外光。由于紫外光的能量很高，能够破外化学键，使分子不寻常的具有高反应性，或使分子被粒子化，因此紫外激光器在生物医学和微细加工领域有广泛的应用。这个波段的激光器可为化学、物理、信息、资源环境、生命科学等领域提供全新的研究手段，对科研活动将起到革命性的推动作用。因此寻求便携式高功率的窄带单频深紫外激光器一直是人们不懈追求的目标。实现单频激射的方法有很多种，短腔法、分布反馈(DFB)选模、光子晶体缺陷腔以及复合腔选模等。随着波长的不断缩短，和复合腔选模相比，前几种方式不但限制了激光输出功率和阈值电流，还对制备工艺提出了新的挑战。因此利用大尺寸的耦合微腔实现高功率窄 线宽单频出射不需要复杂的制备工艺是一个不错的选择。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提出一种结构紧凑、制作容差大、制作工艺简单的耦合微腔紫外单频微流激光器。本专利技术提出的耦合微腔紫外单频微流激光器，采用复合腔选模方案设计新的紫外单频激光器结构，由如下部分依次组合构成一个实心微柱，一本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种耦合微腔紫外单频微流激光器，其特征在于由如下部分依次组合构成：一个实心微柱，一个微管，微管内容纳有紫外增益介质,；微管两端与软管相连用于紫外增益介质的流通。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：涂鑫，吴翔，李明，徐雷，刘丽英，
申请(专利权)人：复旦大学，
类型：发明
国别省市：