【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种分光装置,特别是涉及一种应用于光谱测量设备中,并可提升光均匀度的分光装置。
技术介绍
参阅图1,为一种已知的分光装置1,主要包含一个 光源11以及一个分光器12。该光源I发出的光可被图未示出的反射镜、集光镜等光学元件导入该分光器12,光线受到该分光器12的分光、调制后,由该分光器12产生单色光,单色光可直接或经由其它光学元件后射向一个照射平面10。该照射平面10可供一个待测量的样品摆放,且该样品与一个测量装置连接,依照不同的测量方式可进行不同的光谱测量,例如吸收光谱、反射光谱、穿透光谱等等,借此用于分析样品的化学组成、表面形态、光学特性等性质。由于该分光装置I未设置用于使光线均匀化的光学元件,所以该分光器12产生的单色光照射在该照射平面10上是不均匀的,如图2所示,在该照射平面10中心处的光强度最强,越往该平面的外围的光强度越弱,此光线不均匀的现象过于严重,导致光线无法均匀地照射在整个样品上,影响后续的光谱测量结果及样品分析的准确性。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种具有均匀光线的功能、可提升光均匀度的分光装置。本专利技术的可提升光均匀度 ...
【技术保护点】
一种可提升光均匀度的分光装置,包含:一个光源单元,以及一个位于该光源单元的一侧并用于使该光源单元的光通过后产生单色光的分光器,其特征在于:该分光装置还包含至少一个第一集光镜、一个均光件,以及至少一个第二集光镜;该第一集光镜位于该分光器的一侧,并将该分光器产生的单色光聚焦;该均光件位于该第一集光镜的一侧,并包括一个中空柱状的本体、一个披覆在该本体的内周面的反射膜、一个朝向该第一集光镜的入光面、一个相反于该入光面的出光面,以及一个贯穿该入光面及该出光面并且围绕该光源单元的一个光轴的反射面,所述入光面及出光面都是由该本体及反射膜共同形成,该反射面为该反射膜的内侧表面,且该反射面界 ...
【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员:廖华贤,何振扬,
申请(专利权)人:光焱科技股份有限公司,
类型:发明
国别省市:
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