利用单光栅外腔反馈实现多半导体激光合束的装置及方法制造方法及图纸

本发明专利技术有关利用单光栅外腔反馈实现多半导体激光合束的装置及方法，属于半导体激光技术领域，半导体激光器模块与外腔反窥镜分别组成两个激光振荡腔，经由共同的光栅角色散作用和外腔反窥镜的反馈作用，从外腔反窥镜输出两束光束质量与单元光束相同、功率提高数倍的线偏振激光束，再经由偏振合束镜，实现高功率、高光束质量的单激光束输出。本发明专利技术可实现全半导体激光波段范围内的合束，合束波长间隔窄，具有输出激光功率高、光束质量好的优点，同时采用一个光栅实现多光束光谱合束，集成度高。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于半导体激光
，尤其涉及一种采用单个光栅，通过外腔反馈，实现多个半导体激光器单元合束成两束光，再结合偏振合束实现超高亮度、高功率单激光束输出的。
技术介绍
半导体激光器具有转换效率高、使用寿命长、体积小和重量轻等优点，作为直接光源，小功率器件早已在通信、印刷、条形码扫描和光存储等信息领域实现广泛应用，大功率器件受光束质量和亮度条件的限制，以及到达目标处的功率密度低，目前仅应用在一些低要求场合，如塑料焊接、激光钎焊等。对于如金属焊接、激光切割等要求较高的领域，半导体激光器的应用尚有一定难度，改善半导体激光器的光束质量，提高输出激光束的亮度，对大功率半导体激光器的发展和应用具有重要意义。半导体激光器的光束质量采用光参量积(BPP)来评价，定义为光束束腰半径W。与远场发散半角Θ/2的乘积，光参量积越小，光束质量越好。BPP= W0* Θ /2 由于半导体激光器的结构原因，平行于外延层方向的快轴方向光参量积(BPPf)小，接近衍射极限，光束质量非常好，垂直于外延层方向的慢轴方向光参量积为快轴方向(BPPs)的上千倍，光束质量差，不利于半导体激光器的实际应用。半导体激光器本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种利用单光栅外腔反馈实现多半导体激光合束的装置，其特征在于包括：半导体激光器模块（1，1’），场镜（2，2’），光栅（3），外腔反窥镜（4，4’），半波片（5），反射镜组（61，62），偏振分光棱镜（7），其半导体激光器模块（1，1’）与外腔反窥镜（4，4’）分别组成两个激光振荡腔，其中：半导体激光器模块（1，1’）由半导体激光器（14）、快轴准直镜（15）和慢轴准直镜（16）组成；单元光束入射到光栅（3）的振动方向与光栅（3）要求的偏振方向相匹配；半导体激光器模块（1，1’）、场镜（2，2’）和光栅（3）的位置关系满足：半导体激光器模块（1，1’）和光栅（3）分别位于场镜（2，2’）的前后...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：王峙皓，甘露，张淑珍，
申请(专利权)人：长春德信光电技术有限公司，
类型：发明
国别省市：