自编号声表面波无源无线谐振型传感器制造技术

本实用新型专利技术公开了一种自编号声表面波（SAW）无源无线谐振型传感器（SAW传感器），它采用多个SAW谐振器并接，其中一个为基准谐振器，采用传感量敏感特性较小的设计。其余的SAW谐振器为敏感谐振器，至少一个敏感谐振器对应于一个待测传感量，它们分别设计为对相应待测传感量具有明显敏感特性的结构。在规定工作频段内，采用频分方式设置各SAW谐振器谐振频率容许区间组，各区间不重合。SAW传感器采用频率区间组合编号，编号总数等于各频率区间数的积。本实用新型专利技术是一种自编号传感器，它保持了通用频差结构SAW传感器的优点，且通过粗测传感器内各谐振器谐振频率，可识别其编号，引用该传感器的实际参数，能较大提升传感量值测试精度。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及物联网无线传感器，特别是声表面波(SAW)无源无线谐振型传感器(SAW传感器)。
技术介绍
声表面波(SAW)传感器是利用压电芯片及其上的叉指换能器等换能结构对外界环境参量应力的敏感性，测试其电学特性来获得环境参量值，已在许多领域得到应用。物联网的兴起使无线传感器受到重视，由于SAW器件不需外界能源、其叉指换能器可直连天线收发射频无线电波并且能在恶劣环境下工作等特点，无源无线SAW传感器成为各国研发重点。SAW无源无线传感器按检测原理分为两种类型延迟型和谐振型。SAW无源无线谐振型传感器(下称SAW传感器)，主要利用了 SAW谐振器的谐振频率与所处环境传感量值相关的特点，已有商品应用在汽车轮胎、电力网等多种场合。现今SAW传感器，主要结构为直接连接一小型天线(传感器天线)的SAW谐振器(组合)。SAW谐振器是一个谐振元件，其谐振频率对所处环境的传感量敏感。当传感器天线接收到阅读器发出的同频段脉冲询问信号后，被强迫激励，储存电磁能量。在询问脉冲激励完成后，能量弛豫，会通过传感器天线向外发射具有频率为其谐振频率的电磁回波。阅读器接收并检测回波频率特性，就可以换算出传感器所处环本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种自编号声表面波无源无线谐振型传感器，其特征在于：它采用多个声表面波谐振器并接；其中一个为基准谐振器；其余的声表面波谐振器为敏感谐振器，至少一个敏感谐振器对应于一个待测传感量，它们分别设计为对相应待测传感量具有明显敏感特性的结构；所有谐振器通过匹配网络与传感器小型天线直连。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：陈培杕，肖功亚，邹梁，
申请(专利权)人：中国电子科技集团公司第五十五研究所，
类型：实用新型
国别省市：