在电动流体加速器装置中的电极修整保护制造方法及图纸

利用清洁装置(104，106，204，206，404，504，506，704，706，804，806，904，906，1002)执行修整保护电极的操作，以从电动流体装置或其它离子流产生装置的电极表面上去除有害物质或防止有害物质形成。修整保护材料(304，810，910)被沉积在电极(102，202，302，508，708，808，908，1008)上，以至少部分地缓解在电极上的侵蚀、腐蚀、氧化、枝晶形成或臭氧产生。修整保护材料可以通过一个或多个清洁块或擦拭器的磨损部分沉积。清洁块的组分可以被选择为足够硬以在选定的压力下去除有害物质，且又足够柔软而可磨损的，从而将修整保护层沉积在电极表面上。修整保护材料可以按固态或液态来施加。所施加的修整保护材料包括以下材料的至少一种：银、钯、铂、锰、镍、锆、钛、钨、铝、前述金属的氧化物或合金、碳以及在等离子体条件下分解的有机金属材料。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本申请总体上涉及在例如电动流体加速器和静电除尘器的电动流体装置或静电装置中的电极原位修整保护(conditioning)。
技术介绍
许多电子装置和机械操作的装置需要气流以通过对流来帮助冷却某些操作系统。冷却有助于防止装置过热和提高长期可靠性。已经知道，可以使用风扇或其它类似的移动机械装置来提供冷却的空气流，但这样的装置通常具有有限的工作寿命，产生噪音或振动，浪费功率或具有其它设计问题。离子流式换气装置例如电动流体(EHD)装置或电液动力(EFD)装置的使用可以提 高冷却效率，并且降低振动、功耗、电子装置温度和噪音的产生。这可以降低总体装置寿命成本、装置尺寸或体积，并且可以改善电子装置的性能或用户的体验。在使用发射极或集电极电极的许多EHD或EFA装置和其它类似装置中，如硅树突的有害物质、表面污染物、粒状或其它碎片可能会堆积或形成在电极表面，并且可能会降低这些装置的性能、效率和寿命。特别是，硅氧烷蒸气在等离子体或电晕环境中会分解和在电极上形成固态的硅沉积，例如在发射极电极或集电极电极上。这种硅石污染物的积聚可以降低电源效率，引起火花或降低击穿电压，并导致装置故障。因此，需要寻求对电本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：K·A·霍纳，G·高，N·朱厄尔拉森，
申请(专利权)人：德塞拉股份有限公司，
类型：
国别省市：