【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于太赫兹无源器件，更为具体地说，是涉及一种适用于380 390GHz频段的基于MEMS体硅工艺的波导带通滤波器。
技术介绍
滤波器是一个二端口网络，它通过在滤波器通带频率内提供信号传输并在阻带内提供衰减的特性，用以选择系统中某处的频率响应。典型的频率响应包括低通、高通、带通和带阻特性。滤波器实际上已广泛应用于各种类型的通信、雷达测试或测量系统中。滤波器的功能构件是约束或引导电磁波能量定向传输的传输线系统，即导行系统，导行波是指能量的全部或绝大部分受传输线导体或介质的边界约束、在传输线有限截面内沿确定方向(一般为轴向)传输的电磁波，导行波的模式，又称为传输模、正规模，是指能够沿传输线独 立存在的场型，传输线中导模两相同相位面之间的距离称为该导模的波导波长λ g,是一与传输线结构密切相关的参数。滤波器将一个或多个谐振腔通过耦合的形式连接起来，实现一定的频率响应；谐振腔是一段一定长度的导行系统，其长度一般为波导半波长或四分之一波导波长；耦合的形式则可以根据耦合面上的场分布分为磁耦合、电耦合以及混合形式的耦合，又可以根据耦合面处等效电路的性质分为容性耦合、感...
【技术保护点】
一种应用于380～390GHz的太赫兹波导滤波器，上腔体（1）和下腔体（2）闭合形成滤波器波导腔（3），其特征在于闭合形成滤波器波导腔的上腔体和下腔体为硅基镀金材质，波导腔由输入段（4）、输出段（5）以及位于输入段与输出段之间3~7个谐振腔构成，以空气为填充介质，波导腔横截面的宽、高尺寸分别为0.56mm±5μm、0.28mm±5μm，谐振腔由对称隔墙构成的感性耦合窗分隔形成，位于两端的谐振腔腔长小于位于中间谐振腔腔长，位于两端的感性耦合窗的窗宽大于位于中间的感性耦合窗的窗宽。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：张勇，胡江，徐锐敏，延波，谢善谊，
申请(专利权)人：电子科技大学，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。