【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及电容式位移传感器领域技术，尤其是指一种多环并联式电容位移传感器。
技术介绍
随着科学技术的不断发展，高精度位移测量和非接触测量的需求越来越多，电容测微技术的应用面也越来越宽。随着电容传感器存在的分布电容、非线性等缺点得到克服，高精度、高稳定性的电容测微产品相继问世。高精度电容测微仪可实现的分辨率极高，且具有较好的频响特性，因此近年来成为高精度微动平台反馈控制的几种主要检测传感器之 O目前已有的电容位移传感器主要有如下两大类I、差动式变极距型电容传感器其结构原理如图Ia和图Ib所示，在图Ia中，位于中央的双面极板20为动极板，与移动件相连接，位于两侧的单面极板10和单面极板30为固定极板，与固定基座相连，单面极板10和单面极板30之间的相对位置固定不变。测量时，用于被测量瞄准的移动件带动双面极板20纵向移动△(!，引起各对极板间的距离的同步变化，变化后的双面极板20与单面极板10和单面极板30的间隙分别为Cl1和d2。(如图Ib所示)。通常，平行板电容器，电容为C= ε S/d,其中，ε为极板间介质的介电常数，S为极板面积，d为极板间的距离。设Clt...
【技术保护点】
一种多环并联式电容位移传感器，包括有相互配合的动极和定极，其特征在于：该定极包括有同轴且由内而外间距设置的单面定极轴、双面圆环定极板、单面圆环定极板；该动极包括有对应定极设置且同轴的第一双面圆环动极板和第二双面圆环动极板，该第一双面圆环动极板内形成有第一容置空腔，该第一双面圆环动极板与第二双面圆环动极板之间形成有第二容置空腔；该动极可轴向活动式嵌套于定极内，前述单面定极轴配合于第一容置空腔内并与第一双面圆环动极板内壁面构成第一电容；前述双面圆环定极板配合于第二容置空腔内并其内、外壁面分别与第一双面圆环动极板的外壁面、第二双面圆环动极板的内壁面构成第二、三电容；前述单面圆环定...
【技术特征摘要】
1.一种多环并联式电容位移传感器，包括有相互配合的动极和定极，其特征在于该定极包括有同轴且由内而外间距设置的单面定极轴、双面圆环定极板、单面圆环定极板；该动极包括有对应定极设置且同轴的第一双面圆环动极板和第二双面圆环动极板，该第一双面圆环动极板内形成有第一容置空腔，该第一双面圆环动极板与第二双面圆环动极板之间形成有第二容置空腔；该动极可轴向活动式嵌套于定极内，前述单面定极轴配合于第一容置空腔内并与第一双面圆环动极板内壁面构成第一电容；前述双面圆环定极板配合于第二容置空腔内并其内、外壁面分别与第一双面圆环动极板的外壁面、第二双面圆环动极板的内壁面构成第二、三电容；前述单面圆环定极板配合于第二双面圆环动极板外围，并单面圆环定极板与第二双面圆环动极板的外壁面构成第四电容。2.根据权利要求I所述的多环并联式电容位移传感器，其特征在于所述第一双面圆环动极板的内径大于单面定极轴的外径，该第一双面圆环动极板与第二双面圆环动极板的间距大于双面圆环定极板的厚度，该单面圆环定极板的内径大于第二双面圆环动极板的外径。3.根据权利要求I所述的多环并联式电容位移传感器，其特征在于所述单面定极轴、双面圆环定极板、单面圆环定极板、第一双面圆环动极板及第二双面圆环动极板的轴向长度相等且两端对应齐平。4.根据权利要求I所述的多环并联式...
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。