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多环并联式电容位移传感器制造技术
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文档序号:8130009
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本发明公开一种多环并联式电容位移传感器,包括有动极和定极,该定极包括有同轴且由内而外设置的单面定极轴、双面圆环定极板、单面圆环定极板;该动极包括有对应定极设置且同轴的第一双面圆环动极板和第二双面圆环动极板;动极随被测物件相对定极沿轴向移动时...
该专利属于华侨大学所有,仅供学习研究参考,未经过华侨大学授权不得商用。
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