柔性透明导电薄膜制造技术

本实用新型专利技术涉及一种低温环境下眼镜镜片防雾防冻透明导电薄膜材料，属于透明导电薄膜技术领域。目前市场上采用的防雾措施主要有电子防雾膜和防雾剂，电子防雾膜主要用在浴室化妆镜等，普通防雾眼镜防雾不持久。本实用新型专利技术提供一种眼镜镜片防雾透明导电薄膜，有三层结构，依次是基材、增透层和透明导电层。采用本实用新型专利技术方法薄膜产品在-30℃环境下都有很好的防雾防冻效果，并具有一定的紫外防护功能。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种柔性薄膜太阳能电池电极用透明导电薄膜，属于透明导电薄膜

技术介绍
随着环境污染的程度越来越严重，人类对清洁能源的需求越来越高。太阳能具有清洁无污染，取之不尽等优点，将太阳能转化为电能具有很大的意义。太阳能电池种类很多，包括单晶硅太阳能电池，多晶硅太阳能电池，非晶硅太阳能电池和薄膜太阳电池。薄膜太阳能电池相对于其他类型的太阳能电池而言制造工艺简单，具有成本低可大批量生产，所以得到广泛应用，目前主要的是以玻璃为衬底，现在有一种柔性衬底的太阳能电池，本产品就有用做柔性薄膜太阳能电池的前电极。 透明导电薄膜(TCO)由于具有透过率高，能够导电，可用于薄膜太阳能电池的前电极材料，比如掺铝氧化锌(ΑΖ0)，氧化铟锡(ITO)等，一般透过率都小于90%，本产品的开发进一步提闻了透过，从而可以提闻光电转换效率。ITO导电薄膜材料最初主要沉积在玻璃上，现在发展为主要镀在柔性衬底PET上，便于加工，其工艺经历从真空高温蒸发法，化学气相沉积法，溶胶凝胶法等，现在主要采用的直流磁控溅射法，本产品就是采用真空直流磁控溅射镀膜法。本产品在PET和ITO层之间镀了 Nb205介质层和Si02阻隔层，能有效提高产品的透过率和耐候性。
技术实现思路
本技术的目的是在于提供一种柔性透明导电薄膜，提高太阳光透过率，从而提高薄膜太阳能电池的光电转换效率。本技术具有四层结构，依次是基材，高折射率氧化物层、低折射率氧化物层和高折射率透明导电层。所述柔性透明导电薄膜中的基材为高亮PET聚酯薄膜，其透过率大于92%。所述柔性透明导电薄膜中的高折射率氧化物层是五氧化二铌薄膜，厚度为3-12nm，折射率为I. 9-2. 5。所述柔性透明导电薄膜中的低折射率氧化物层是二氧化硅薄膜，厚度为40-70nm，折射率为I. 4-1. 6。所述柔性透明导电薄膜中的高折射率透明导电层是氧化铟锡(ΙΤ0)，厚度为60-160nm，折射率为 I. 9-2. 2。所述柔性透明导电薄膜中的五氧化二铌和二氧化硅光学层主要是为提高太阳能电池电极的太阳光透过率，同时阻挡了 ITO与PET之间可能存在的化学反应，提高其耐候性。依照本技术，该薄膜产品方阻可达5 45Ω/□，透过率可达达88%以上。作为薄膜太阳能电池电极，能有效地提高其光电转换效率。附图说明图I为柔性透明导电薄膜结构示意图。(I)为基材，(2)为高折射率氧化物层，(3)为低折射率氧化物层，(4)为高折射率透明导电层。具体实施方式本技术材料，采用PET柔性基材，利用真空磁控溅射，镀每一层膜均通过调整气体量，电源功率及走卷速度以达到其理想效果。本技术包含四层，见附图，(I)为基材，优选为高亮PET聚酯薄膜，(2)为高折射率氧化物层，优选为五氧化二铌薄膜，(3)为低折射率氧化物层，优选为二氧化硅薄膜，(4)为高折射率透明导电层，优选为氧化铟锡(ITO)0在镀膜前，第一层PET聚酯薄膜需要进行预处理，包括除静电、离子束轰击、加热脱气处理等。第二层为五氧化二铌薄膜，采用中频电源孪生靶，靶材为Nb靶，其纯度大于99. 99%，镀膜时充02气反应溅射生成Nb205，功率为5 35Kw，Ar量为15(T250sccm，02量为30 70sccmo第三层为二氧化硅薄膜，采用中频电源孪生靶，靶材为Si靶，其纯度大于99. 99%，镀膜时充02气反应溅射生成Si02，功率为l(T25Kw，Ar量为15(T250sccm，02量为20 60sccm。第四层为氧化铟锡(ΙΤ0)，采用直流磁控溅射方法，靶材为ITO靶，其中In203与Sn02的质量比为90:10，镀膜时充入少量02气沉积而成ITO薄膜，功率为3 10Kw，Ar量为150 220sccm, 02 量为 4 15sccm。权利要求1.一种柔性透明导电薄膜，其特征是具有四层结构，依次是基材，高折射率氧化物层、低折射率氧化物层和高折射率透明导电层。2.根据权利要求I所述的柔性透明导电薄膜，其特征是基材为高亮PET聚酯薄膜，其透过率大于92%。3.根据权利要求I所述的柔性透明导电薄膜，其特征是高折射率氧化物层是五氧化二铌薄膜，厚度为3-12nm，折射率为I. 9-2. 5。4.根据权利要求I所述的柔性透明导电薄膜，其特征是低折射率氧化物层是二氧化硅薄膜，厚度为40-70nm，折射率为I. 4-1. 6。5.根据权利要求I所述的柔性透明导电薄膜，其特征是高折射率透明导电层是氧化铟锡(ITO)，厚度为60-160nm，折射率为I. 9-2. 2。专利摘要本技术涉及一种低温环境下眼镜镜片防雾防冻透明导电薄膜材料，属于透明导电薄膜
目前市场上采用的防雾措施主要有电子防雾膜和防雾剂，电子防雾膜主要用在浴室化妆镜等，普通防雾眼镜防雾不持久。本技术提供一种眼镜镜片防雾透明导电薄膜，有三层结构，依次是基材、增透层和透明导电层。采用本技术方法薄膜产品在-30℃环境下都有很好的防雾防冻效果，并具有一定的紫外防护功能。文档编号H01B5/14GK202601233SQ20122022841公开日2012年12月12日 申请日期2012年5月21日 优先权日2012年5月21日专利技术者黄红梁, 周乾, 李国增 申请人:珠海兴业光电科技有限公司本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种柔性透明导电薄膜，其特征是：具有四层结构，依次是基材，高折射率氧化物层、低折射率氧化物层和高折射率透明导电层。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：黄红梁，周乾，李国增，
申请(专利权)人：珠海兴业光电科技有限公司，
类型：实用新型
国别省市：