一种空气净化装置，于一筒体内部分隔出数个净化室，且于各该净化室填充有净化材，并于该筒体形成有进气口与出气口，而于该筒体内部形成有连通该进气口、各净化室及出气口的气流通道；借此，待净化气体由该进气口导入，进而利用填充于不同净化室的净化材进行连续性的净化，并由该出气口将净化后气体导出；筒体内部横贯设置一多孔板，并于多孔板上方顶天设置一纵隔板，遂于纵隔板两侧分隔出第一净化室与第二净化室，而于多孔板底侧分隔出连通该第一净化室底侧与第二净化室底侧的通道室。本发明专利技术具有设备体积小的功效，且具有利用线上再生而提升净化效率的功效。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种空气浄化装置，尤指ー种于ー筒体内部分隔出数个净化室，且于各净化室填充有净化材，而于该筒体内部形成有连通该进气ロ、各净化室及该出气ロ的气流通道，以利用单ー结构体将待净化气体进行连续性净化程序的设计。
技术介绍
半导体晶圆制造厂及TFT-IXD面板或太阳能光电制造业制程中，在湿蚀刻制程会使用到无机酸(硝酸、硫酸、氢氟酸、盐酸)及有机酸(如醋酸)等酸液，而在干蚀刻制程或洗净程序会使用到大量的氟化合物(如PFC :NF3、SF6, CF4, C2F6)，经净化设备分解处理后衍生无机酸(硝酸、氢氟酸)；其中，有机酸及无机酸的比例配置不尽相同，主要的蚀刻作用由无机酸进行，加入有机酸(如醋酸)主要是使无机酸更稳定，提高蚀刻的良率，然而却造成大量的毒性气体、臭气、白烟、NO2黄烟或厌恶性异味排放。 再者，悬浮微粒(Suspended particulate)泛指在气流中悬浮的固态或液态粒子，在提及一般空气质量时多以此为评估项目，在測量时则以高量采样器作水平向过滤采气测定。而悬浮微粒因不同粒径的颗粒进入人体呼吸系统的能力差异极大，且一般医学界认为10微米以下的颗粒方可进入人体呼吸道，其中又以2. 5微米以下的颗粒对呼吸系统的危害最为強烈。目前一般环保单位对于空气悬浮微粒的污染程度多改用「粒径小于等于10微米的悬浮微粒(Particulate matter ^ 10 μ m,简称PM10)」，在公卫界则多采用「粒径小于等于2. 5微米的悬浮微粒(Particulate matter ^ 2. 5 μ m,简称ΡΜ2· 5)」以评估污染对健康的影响。此2. 5微米以下的微粒因此又被称为「可呼吸性悬浮粒子(Respirable suspendedparticleノ」。然而，以传统冷凝法及吸收法目前最常采用的浄化设备(诸如以抽风与简易滤网或一般吸附或水洗洗涤处理)，并无法完全去除上述存在于空气中的悬浮微粒及酸性气体(硝酸、硫酸、氢氟酸、盐酸、氨、NO2 ;尤其是氢氟酸、NO2)等难处理的分子污染物，而且该等悬浮粒子若为人体吸入将引发身体健康的安危；同时该等酸性气体于低浓度下即会产生恶臭，并易于排放管道产生次微米微粒的白烟或/及黄烟现象，极易影响厂房周围生活环境而引发民众抗议，同时也影响到厂房周围其它高科技厂高阶制程的产品良率。再者，尚有运用触媒滤材来净化处理空气中含硫化合物、硝酸及醋酸等物质气体的方法，该触媒滤材净化气体的优点为含硫化合物、硝酸及醋酸等物质气体的脱除效率高、反应温度低、能源消耗低、避免生成二次污染物等，是ー种环境友好的催化浄化技木。
技术实现思路
本专利技术所要解决的主要技术问题在于，克服现有技术存在的上述缺陷，而提供一种空气浄化装置，其具有设备体积小的功效，且具有利用线上再生而提升净化效率的功效。本专利技术解决其技术问题所采用的技术方案是—种空气浄化装置，是于ー筒体内部分隔出数个净化室，且于各该净化室填充有净化材，并于该筒体形成有进气ロ与出气ロ，而于该筒体内部形成有连通该进气ロ、各该净化室及该出气ロ的气流通道；借此，待净化气体由该进气ロ导入，进而利用填充于不同浄化室的浄化材进行连续性的浄化，并由该出气ロ将净化后气体导出。其一，该筒体内部横贯设置一多孔板，并于该多孔板上方顶天设置ー纵隔板，遂于该纵隔板两侧分隔出第一浄化室与第二浄化室，而于该多孔板底侧分隔出连通该第一浄化室底侧与该第二浄化室底侧的通道室，并令该进气ロ的形成位置对应于该第一浄化室顶侦牝该出气ロ的形成位置对应于该第二浄化室顶侧，进而于该筒体内部形成有连通该进气ロ、该第一净化室顶侧、该第一净化室底侧、该通道室、该第二净化室底侧、该第二净化室顶侧及该出气ロ的气流通道。其ニ,该筒体内部横贯设置一上多孔板与一下多孔板，并于该上多孔板与该下多孔板设置ー纵隔板，遂于该纵隔板两侧分隔出第一上、下浄化室、第二上、下浄化室与分流、合流室，另分隔出连通该第一上浄化室顶侧与该第二上浄化室顶侧的上通道室与连通该第一下浄化室底侧与该第二下浄化室底侧的下通道室，并令该进气ロ的形成位置对应于该分流室，该出气ロ的形成位置对应于该合流室，进而于该筒体内部形成有连通该进气ロ、该分流室、该第一上净化室底侧/该第一下净化室顶侧、该第一上净化室顶侧/该第一下净化室 底侧、该上信道室/该下信道室、该第二上浄化室顶侧/该第二下浄化室底侧、该第二上净化室底侧/该第二下浄化室顶侧、该合流室及该出气ロ的气流通道。其三，该筒体内部以横向设置的第一多孔板与顶天设置的第一纵隔板分隔出第一浄化室，另以横向设置的第二多孔板与立地设置的第二纵隔板分隔出第二浄化室，而于该第一纵隔板与该第二纵隔板之间分隔出连通该第一浄化室底侧与该第二浄化室顶侧的通道室，并令该进气ロ的形成位置对应于该第一浄化室顶侧，该出气ロ的形成位置对应于该第二浄化室底侧，进而于该筒体内部形成有连通该进气ロ、该第一浄化室顶侧、该第一浄化室底侧、该通道室、该第二浄化室顶侧、该第二浄化室底侧及该出气ロ的气流通道。此外，该筒体为圆形。又，各浄化室各自填充或级配填充有不同浄化属性的多孔性浄化材。另，填充于该第一浄化室、该第一上浄化室或该第一下浄化室的多孔性浄化材为活性碳、活性氧化铝、陶瓷或沸石，填充于该第二浄化室、该第二上浄化室或该第二下浄化室的多孔性浄化材为经改质的活性碳、活性氧化铝、纳米碳管、多孔性树脂或沸石。再者，进ー步于各浄化室各自设置有再生液喷洒器，并于该筒体底部设置有再生液的排泄ロ。另者，进一步相对各再生液喷洒器连结有再生液循环单元，各再生液循环单元各将ー循环管的吸取端设置于该筒体底部，各循环管的排放端则与各再生液喷洒器连结，且于各循环管设置有循环泵，并将再生液容器借供给管连结至各循环管的低压段，另于该筒体底部设置有再生液纵隔板。又一，各浄化室的多孔性浄化材填充高度可弹性应用，较佳为30 60公分。本专利技术的有益效果是，其具有设备体积小的功效，且具有利用线上再生而提升净化效率的功效。附图说明下面结合附图和实施例对本专利技术进ー步说明。图I是本专利技术第一实施例的结构示意图。图2是本专利技术第二实施例的结构示意图。图3是本专利技术第三实施例的结构示意图。图中标号说明10、20、30 筒体11、31第一净化室21a第一上净化室21b第一下净化室12、32第二净化室22a第二上净化室22b第二下净化室 13、33 通道室23a上通道室23b下通道室14、24 纵隔板34a第一纵隔板34b第二纵隔板15、25、35 进气ロI6、26、36 出气ロ17多孔板27a上多孔板27b下多孔板37a第一多孔板37b第二多孔板28分流室29合流室123 排泄 ロ124再生液纵隔板40a、40b多孔性净化材50a、50b再生液喷洒器60a、60b再生液循环单元6la、6Ib 循环管62a、62b 循环泵63a、63b再生液容器64a、64b 供给管具体实施例方式首先，请參阅图I所示，本专利技术的第一实施例，是于ー横置的圆形筒体10内部横贯设置ー多孔板17，并于该多孔板17上方顶天设置一纵隔板14，遂于该纵隔板14两侧分隔出第一净化室11与第二净化室12，且于各该净化室11、12填充有净化材40a、40b，而于该多孔板17底侧分隔出连通该第一净化室11底侧与该第二净化室12本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种空气净化装置，其特征在于，于一筒体内部分隔出数个净化室，且于各净化室填充有净化材，并于该筒体形成有进气口与出气口，而于该筒体内部形成有连通该进气口、各净化室及该出气口的气流通道；借此，待净化气体由该进气口导入，进而利用填充于不同净化室的净化材进行连续性的净化，并由该出气口将净化后气体导出。
【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：张丰堂，简弘民，
申请(专利权)人：杰智环境科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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