一种超纯气体充装系统的压力显示单元技术方案

本实用新型专利技术提出了一种超纯气体充装系统的压力显示单元。它包括压力表和压力变送器，所述压力表和压力变送器分别连接于气体充装管路上。本实用新型专利技术的优点是采用上述结构后，使用压力变送器和压力表相结合的方式，保证系统洁净度，在系统使用前，使用已检测的压力表校验压力变送器，增加系统可靠性。系统生产中，仅使用洁净的压力变送器，污染的压力表不会污染系统。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种超纯气体充装系统，特别涉及一种超纯气体充装系统的压力显示单元。
技术介绍
超纯气体通常指纯度在99. 9999%以上的气体。瓶装超纯气体生产过程中，气瓶充装是最关键的步骤。如果气瓶充装稍有不慎，就会导致气体纯度的极大波动。高纯气体充装有两类方法，第一类是低压纯化后加压充瓶；第二类是高压纯化后直接充瓶。第一类方法多在充装纯度气体为99. 999%时使用。由于隔膜压缩机可能造成纯净气体二次污染，充装超纯气体时多采用高压纯化后充装的方式。现有的超纯气体充装系统中通常会使用到压力表。国家规定压力表需要定期检测。由于检测压力表会使用水压试验，所有检测后的压力表会对充装系统造成严重的污染。而且由于压力表死体积较大、且水分很难置换，所以压力表的定期检测也对超纯气体充装系统产生了重大的影响。有些系统会使用压力变送器。虽然压力变送器没有强制检测的规定，但是不检测会有安全隐患，检测后跟压力表相同也会受到污染。
技术实现思路
本技术提出一种超纯气体充装系统的压力显示单元，它能够有效地克服现有技术中的不足，使用压力变送器和压力表相结合的方式，保证了系统的洁净度，增加了系统的可靠性。本技术的技术方案是这样实现的一种超纯气体充装系统的压力显示单元，包括压力表和压力变送器，所述压力表和压力变送器分别连接于气体充装管路上。作为优选，所述压力表和压力变送器通过三通管道的两个末端连接于气体充装管路上。作为优选，所述压力表的连接管路上还连接有压力表阀和压力表排气阀。作为优选，还包括与压力变送器双路并联连接的安全阀。本技术的有益效果在于采用上述结构后，使用压力变送器和压力表相结合的方式，保证系统洁净度，在系统使用前，使用已检测的压力表校验压力变送器，增加系统可靠性。系统生产中，仅使用洁净的压力变送器，污染的压力表不会污染系统。附图说明为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的其中一个实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图I为本技术实施例的结构示意图。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术其中一个实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。如图I所示，一种超纯气体充装系统的压力显示单元，包括压力表I和压力变送器2，所述压力表I和压力变送器2通过三通管道的两个末端连接于气体充装管路3上，所述压力表I的连接管路上还连接有压力表阀4和压力表排气阀5。所述压力显示单元内还包括与压力变送器2双路并联连接的安全阀6。在操作时，打开超纯气体充装系统中的高压纯化器，使之达到工作温度；开启隔膜压缩机；打开压力表阀4后开启进气阀7，观察压力表I和压力变送器2读数是否一致。如 果读数不一致，则停机检查压力表I和压力变送器2。如果读数一致，则关闭压力表阀4和进气阀7，完成压力变送器2校验；随后开启放空阀8，5秒后关闭，释放管路压力。即在系统使用前，使用已检测的压力表I校验了压力变送，2 ;在系统生产中，仅使用洁净的压力变送器2，污染的压力表I不会污染系统。以上所述仅为本技术的较佳实施例而已，并不用以限制本技术，凡在本技术的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本技术的保护范围之内。权利要求1.一种超纯气体充装系统的压力显示单元，包括压力表，其特征在于还包括压力变送器，所述压力表和压力变送器分别连接于气体充装管路上。2.根据权利要求I所述的一种超纯气体充装系统的压力显示单元，其特征在于所述压力表和压力变送器通过三通管道的两个末端连接于气体充装管路上。3.根据权利要求I所述的一种超纯气体充装系统的压力显示单元，其特征在于所述压力表的连接管路上还连接有压力表阀和压力表排气阀。4.根据权利要求I所述的一种超纯气体充装系统的压力显示单元，其特征在于还包括与压力变送器双路并联连接的安全阀。专利摘要本技术提出了一种超纯气体充装系统的压力显示单元。它包括压力表和压力变送器，所述压力表和压力变送器分别连接于气体充装管路上。本技术的优点是采用上述结构后，使用压力变送器和压力表相结合的方式，保证系统洁净度，在系统使用前，使用已检测的压力表校验压力变送器，增加系统可靠性。系统生产中，仅使用洁净的压力变送器，污染的压力表不会污染系统。文档编号F17C13/02GK202580617SQ201220217750公开日2012年12月5日 申请日期2012年5月12日 优先权日2012年5月12日专利技术者金星屹, 张根华 申请人:重庆瑞信气体有限公司本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种超纯气体充装系统的压力显示单元，包括压力表，其特征在于：还包括压力变送器，所述压力表和压力变送器分别连接于气体充装管路上。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：金星屹，张根华，
申请(专利权)人：重庆瑞信气体有限公司，
类型：实用新型
国别省市：