【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种提供预紧力的机械机构,特别是涉及一种为真空室门提供预紧力的气动预紧机构。
技术介绍
真空系统中包括有真空容器,真空容器的一端通常设有可开启的门,用于对真空容器内各种仪器及实验装置的安装和物料的运送。大直径真空容器的门由于直径大,且重量大,其在开启和闭合过程中形变量大,所以门与容器之间很难保持良好平行度,而真空容器对密封性能要求很高,为了确保门在开合过程中的形变量小则需要保证开合过程中门的受力情况保持稳定,故目前在较大直径真空容器上所使用的门开合方式为导轨平移式。导 轨平移式大门开启方式保证了大门形变的最小化,但是其也有明显的缺点,当大门开启时其占地面积大,开关不便。另外一种门开启方式是铰链式结构,铰链式结构可实现门的自如开启,较导轨式轻便灵活,但是常规的铰链式结构无法用于对密封性能要求较高的真空系统中,原因在于门在开合过程中受力不均,容易导致变形,最终使得闭合时,大门法兰与真空室筒体法兰间间隙不均,密封性能差。故针对上述现有技术,本申请人认为有必要加以改进,为此本申请人进行了大量的专利文献和非专利文献检索,而在已经公开的文献中未见有可借鉴的技术启示,下面要介绍的技术方案便是在此背景下产生的。
技术实现思路
本技术的任务是针对现有技术的不足,提供一种用于真空室门开合的铰链式结构,这种结构可以在门闭合时调节筒体法兰与门法兰间距,保证真空室的密封性能。本技术的任务是这样来完成的,真空室门铰链开启机构,包括前梁、后梁和主轴,其特征在于,还包括调节杆,所述调节杆与前梁通过主轴铰接,调节杆的一端设有调节螺纹,后梁安装于调节杆,与调节螺纹配对的调节螺母与后梁 ...
【技术保护点】
真空室门铰链开启机构,包括前梁(1)、后梁(2)和主轴(3),其特征在于,还包括调节杆(4),所述调节杆(4)与前梁(1)通过主轴(3)铰接,调节杆(4)的一端设有调节螺纹(5),后梁(2)安装于调节杆(4),与调节螺纹(5)配对的调节螺母(6)与后梁(2)间设有蝶形弹簧(7)。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:戴建新,
申请(专利权)人:常熟市虞华真空设备科技有限公司,
类型:实用新型
国别省市:
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