处理槽制造技术

技术编号:8060224 阅读:229 留言:0更新日期:2012-12-07 22:28
本实用新型专利技术提供一种用于装处理液以处理一待处理物件的处理槽,该处理槽包含:一槽体;一传动装置,挂设于该槽体内部;以及一齿轮驱动装置,悬挂在该槽体的一侧且啮合该传动装置,以驱动该传动装置转动,藉此,解决传统处理槽因漏水而造成待处理物件清洗不全面、蚀刻不完全或不均匀等问题。(*该技术在2022年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

本技术系关于一种处理槽,特别是一种处理物体表面的处理槽。
技术介绍
电子产品的制造过程经常包含清洁、蚀刻等作业。例如,显示器或触控屏幕的制程通常需要在玻璃基板上沉积电路,而沉积电路之前需要以清洁液清洗玻璃基板,或者在玻璃基板上需用蚀刻液蚀刻玻璃基板上的导电层,以上制程都需将玻璃基板浸泡于装在处理槽中的处理液中。图I显示一种传统技术的处理槽I。制程所需处理液(未绘出)被注入处理槽I内。处理槽I的主体大致上由四个槽壁10a/b/c/d与一底部12构成。槽壁IOa与IOc具有许多穿孔14,处理槽I内设置有许多传动轴16,其中每个传动轴16的一端穿过槽壁IOa的一穿孔14,另一端穿过槽壁IOc的对应穿孔14。此外,一驱动装置(未绘出)连接传动轴16的一端或两端,以带动传动轴16旋转。传动轴16上具有滚轮18,可带动一待处理的基板(未绘出)由槽壁IOd的入口 20a进入,经过制程处理后,再带动该基板从槽壁IOb的出口 20b出去。然,传动轴16通过穿孔14贯穿于处理槽1,为保证传动轴16有效地转动,一般地,传动轴16与穿孔14之间存在空隙,因而当液体被注入处理槽I时,液体便从传动轴16与穿孔14之间的空隙漏出,造成处理槽I的液面高度不足,导致待处理物清洗不全面、蚀刻不完全或不均匀等问题。另,该处理槽还包括阻水轮22,阻水轮22虽可稍微增加处理液的液面高度,但却有基板碰撞阻水轮而被刮伤或阻水轮22上堆积的脏污弄脏基板等问题。鉴于上述,有需要提出一种新的结构以改善传统技术的缺失。
技术实现思路
鉴于上述,本技术将传动装置设置在处理槽内部而通过齿轮驱动装置驱动传动装置转动,以改善传统处理槽漏液所造成的问题,以提高产品良率,同时去除传统处理槽中所设置的阻水轮,以避免待处理物件碰撞阻水轮而被刮伤或避免遗留在阻水轮上的脏污弄脏待处理物件。本技术一实施例提供一种处理槽,用于装处理液以处理一待处理物件,该处理槽包含一槽体;一传动装置,挂设于该槽体内部;以及一齿轮驱动装置,悬挂在该槽体的一侧且啮合该些传动装置以驱动该些传动装置转动。在一实施例,其中该槽体包括复数个槽壁及一底部,该些传动装置的两端挂设于两个相对的第一槽壁和第二槽壁上,该第一槽壁和第二槽壁为密闭式槽壁。在一实施例,其中该第一槽壁包括一第一外卡槽、一第一中卡槽和一第一内卡槽,该第二槽壁包括一第二内卡槽,其中该第一中卡槽的高度高于该第一外卡槽和该第一内卡槽的高度,该第一外卡槽、该第一内卡槽与该第二内卡槽高度相等,该第一外卡槽、该第一中卡槽、该第一内卡槽与该第二内卡槽均包括复数个凹孔。在一实施例,其中该齿轮驱动装置包括一第一齿轮组,卡合于该第一外卡槽对应的凹孔中;以及一第二齿轮组,卡合于该第一中卡槽对应的凹孔中且其两端分别啮合于该第一齿轮组和该传动装置。在一实施例,其中,该第一齿轮组包括复数个第一转动杆、第一轴承及第一齿轮,该些第一轴承及第一齿轮套接于该些第一转动杆上;第二齿轮组包括复数个第二转动杆、第二轴承及第二齿轮,该些第二轴承及第二齿轮套接于该些第二转动杆上;以及该传动装置包括复数个传动轴、传动轴承及传动齿轮,该些传动轴承及传动齿轮 套接于该些传动轴上;其中该第一齿轮组的第一转动杆的一端卡合于该第一外卡槽对应的凹孔中,该第二齿轮组的第二转动杆卡合于该第一中卡槽对应的凹孔中,且该第二齿轮组两端的第二齿轮分别与该第一齿轮组的第一齿轮及该传动轴上的传动齿轮啮合。在一实施例,更包括一限位杆,该限位杆从该第二齿轮组的第二齿轮延伸至该处理槽的该第二槽壁。在一实施例,其中该限位杆位于该传动装置上方且该限位杆的设置高度与该第二齿轮组的设置高度相同。在一实施例,其中该传动装置的两端分别卡合于该第一内卡槽和第二内卡槽对应的凹孔中。在一实施例,其中该槽壁具有相对设置的第三槽壁和第四槽壁,该第三槽壁和第四槽壁分别包含一入口与一出口,用于通过该待处理物件,该入口与该出口的尺寸与该待处理物件的尺寸相配合。在一实施例,其中该传动装置包括复数个滚轮以移动该待处理物件。本技术提供了一种处理槽,除了待处理物件通过的开口外,处理槽的壁槽和底部皆为密闭,解决了传统处理槽液漏液的问题,使得处理槽中的处理液能稳定地维持在所需的液面高度,例如,使该处理液的液面浸没待处理物件的高度。同时,移除了传统处理槽所具有的阻水轮,以避免因阻水轮而造成的刮伤或避免遗留在阻水轮上的脏污弄脏待处理物件,如此使制程,例如基板的清洁或蚀刻,得以顺利进行,因而提高产品良率。附图说明图I显示一种传统技术的的处理槽。图2显示根据本技术一较佳实施例的处理槽。图3显示本技术较佳实施例的处理槽的第一槽壁结构。图4为本技术较佳实施例的处理槽的第一槽壁的俯视图。图5显示本技术较佳实施例的处理槽的第二槽壁结构。图6显示本技术较佳实施例的处理槽的部分齿轮驱动装置。图7显示本技术较佳实施例的处理槽的第一齿轮组与第二齿轮组的连接关系O具体实施方式以下将详述本案的各实施例,并配合图式作为例示。除了这些详细描述之外,本技术还可以广泛地施行在其它的实施例中,任何所述实施例的轻易替代、修改、等效变化都包含在本案的范围内,并以之后的专利范围为准。在说明书的描述中,为了使读者对本技术有较完整的了解,提供了许多特定细节;然而,本技术可能在省略部分或全部这些特定细节的前提下,仍可实施。此外,众所周知的步骤或组件并未描述于细节中,以避免造成本技术不必要之限制。图式中相同或类似之组件将以相同或类似符号来表示。特别注意的是,图式仅为示意之用,并非代表组件实际的尺寸或数量,除非有特别说明。图2显示根据本技术一较佳实施例的处理槽3,该处理槽3包括槽体32,挂设于该槽体32内部的传动装置39及悬挂在该槽体32 —侧且啮合该传动装置39以驱动该传动装置39转动的齿轮驱动装置30。槽体32大致上由第一槽壁31a、第二槽壁31b、第三槽壁31c、第四槽壁31d及一底部43构成。 请同时参考图3与图4,图3显示本技术较佳实施例的处理槽的第一槽壁结构,图4为本技术较佳实施例的处理槽的第一槽壁的俯视图。第一槽壁31a包括第一外卡槽315、第一中卡槽313和第一内卡槽311。第一中卡槽313将位于槽体32外表面的第一外卡槽315与位于槽体32内表面的第一内卡槽311相间隔,且底部43到第一中卡槽313高度高于底部43到第一外卡槽315和第一内卡槽311的高度。第一外卡槽315与第一内卡槽311到底部43的高度相等,且第一外卡槽315与第一内卡槽311在具有相同的结构。第一外卡槽315、第一中卡槽313和第一内卡槽311均包括复数个凹孔,例如凹孔315a,313a,311a。请参考图5,图5显示本技术较佳实施例的处理槽的第二槽壁结构。第二槽壁31b与第一槽壁31a相对且具有与第一槽壁31a相似的结构,但第二槽壁31b仅具有包含复数个凹孔317a的第二内卡槽317,其中底部43到该第二内卡槽317的高度与该第一内卡槽311及第一外卡槽315的高度相同。另,第二槽壁31b还设有一限位孔45a,其作用将在后续实施中说明。以上所述的第一槽壁31a和第二槽壁31b为封闭式槽壁。入口 33a及出口 33b则设置在第三槽壁31本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种处理槽,用于装处理液以处理一待处理物件,其特征在于,该处理槽包含:一槽体;一传动装置,挂设于该槽体内部;以及一齿轮驱动装置,悬挂在该槽体的一侧且啮合该些传动装置以驱动该些传动装置转动。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:王其峰杨明重黄志清
申请(专利权)人:宸鸿科技厦门有限公司
类型:实用新型
国别省市:

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