【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种板，包括：包括第一应力的第一材料层；布置在第一材料层下面的第二材料层，第二材料层包括第二应力；布置在第一材料层和第二材料层中的开口；以及形成所述开口的延伸部分，其中所述延伸部分包括第一材料层的部分和第二材料层的部分，以及其中所述延伸部分基于第一应力和第二应力的差而远离所述板的顶面弯曲。
【技术特征摘要】
...
【专利技术属性】
技术研发人员：A德赫，
申请(专利权)人：英飞凌科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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