【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于超精密减振领域，具体涉及ー种磁负刚度机构。本专利技术所涉及的磁负刚度机构结构紧凑，具有负的刚度特性，与正刚度弹簧并联组成超精密减振器可实现超低频减振。该正负刚度并联减振器不仅对高频振动干扰具有良好的隔振效果，还能有效地隔离超低频振动，适用于对低频振动敏感的超精密加工与測量设备。
技术介绍
当前，在高端IC芯片制造领域与超精密检测领域，对环境微振动隔离的要求越来越严格。而一般的超精密减振器，由于其体型的限制，往往 难隔离超低频的振动，因此迫切需要ー些新技术、新方法来改善这ー现状。气浮轴承减振、磁浮减振、负刚度技术等ー些手段可极大地提高这类精密减振器的超低频减振能力。气浮轴承减振技术能使得减振器具有极低的固有频率，但是气浮元件的加工精度要求非常高，对安装的要求也非常严格，提高了成本，制约了气浮轴承减振在超精密减振中的广泛应用。磁浮减振是ー种新型的减振技木，目前还未大规模应用，主要是由于磁浮控制技术难，承载力小，难以小型化。负刚度技术是ー种利用某一类机构在特殊配置下来实现负的刚度特性，包括机械式负刚度和磁负刚度。负刚度机构由于其不稳定性，不能単独使用，须...
【技术保护点】
一种磁负刚度机构，其特征在于，它利用磁铁磁极反向布置产生的排斥力作用而形成负的刚度特性。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：陈学东，吴文江，李小清，徐振高，
申请(专利权)人：华中科技大学，
类型：发明
国别省市：
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