【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种真空镀膜装置，特别涉及一种用于多个真空室串联连续镀膜的密封各个真空室的矩形插板阀。
技术介绍
常见的真空电镀，一般是在一个电镀仓室内进行电镀操作，如果将多个电镀仓室节联起来，进行连续电镀，则需要将各个真空室分别密封，这就需要一种能够对各真空室随时进行密封和开启的装置，并且要保持电镀室的真空度。
技术实现思路
为解决前述存在的问题，本技术提供一种矩形插板阀，包括阀体、阀芯和驱动 装置，阀体为矩形平板形状，阀芯与阀体形状匹配，阀芯左、右两边各装有导向装置和闭锁器，阀芯受电动机带动能够沿阀体上、下移动，当阀芯上移到指定位置，阀门处上端的定位传感器发出指令使闭锁器顶压阀芯，密封阀门。所述闭锁器包括气缸、摆臂、贯穿器和凸轮，气缸通过支架固定在阀体上，气缸通过连接器、销子与摆臂相连，摆臂与凸轮通过键分别与贯穿器上的轴相连，气缸接受指令后带动摆臂摆动，带动贯穿器上的轴转动，带动凸轮转动，凸轮挤压阀芯，密封阀门。本技术的优点是，由于真空室开口大，被密封的口径面积大，而采用大尺寸密封阀芯和闭锁器结构，定位准确，密封可靠，能够达到良好的密封效果。附图说明附图I是本技术的主视图；附图2是闭锁器结构图；附图3是图2的侧视具体实施方式请阅附图I所示，本技术提供一种矩形插板阀，包括阀体、阀芯和驱动装置，阀体4为矩形平板形状，阀芯I与阀体形状匹配，阀芯I左、右两边各装有导向装置和闭锁器2，阀芯2受电动机5带动能够沿阀体4上、下移动，当阀芯I上移到指定位置，阀门处上端的定位传感器发出指令使闭锁器2顶压阀芯，密封阀门。如图2和图3所示，所述闭锁器2包括气缸23、摆臂26、贯穿器...
【技术保护点】
一种矩形插板阀，包括阀体、阀芯和驱动装置，其特征在于，阀体为矩形平板形状，阀芯与阀体形状匹配，阀芯左、右两边各装有导向装置和闭锁器，阀芯受电动机带动能够沿阀体上、下移动，当阀芯上移到指定位置，阀门处上端的定位传感器发出指令使闭锁器顶压阀芯，密封阀门。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：史旭，
申请(专利权)人：纳峰真空镀膜上海有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
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