光学组件制造技术

提供一种可抑制因热应力和机械外力引起的光学特性恶化的光学组件，在所述光学组件中，波导型光学器件的一部分被固定在支架的凸出部上。互相相对的第一、第二光学器件支承台（301，302）被固定在第二波导型光学器件（202）上，并在与支架（210）之间设置有间隙。在支架（210）上设置有第一、第二按压支承台（311，312），上述部件也互相相对。在第一、第二光学器件支承台（301，302）上配置有按压部件（313），按压部件（313）被第一、第二按压支承台（311，312）固定，并在与第一、第二光学器件支承台（301，302）之间设置有间隙。第二波导型光学器件（202）以及第一、第二光学器件支承台（301，302）并未固定在周围的部件上，而是能够在与支架（210）的表面平行的方向上滑动。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及光学组件(optical component),具体涉及包括波导型光学器件的光学组件。
技术介绍
随着光通信系统的技术进步，对高性能光学组件(光学组件)的需求不断增加。波导型光学器件(waveguide type optical device)可通过在基板上形成光波导来实现各种光波回路，因此被用作光学组件的构成部件。为了进一步提高光学组件的性能，实现了将具有不同功能的波导型光学器件集成化或者将透镜、空间相位调制器等空间光学类部件和波导型光学器件集成化的混合光学组件。具体光学组件的实例例如有(1)在不同的平面光波回路(PLC)基板上形成阵列波导光栅(AWG)和可变光衰减器(VOA)后将其光耦合的V-AWG组件，(2)将由如石英类玻璃和铌酸锂(LN)等不同材料构成的波导型光学器件光耦合的 RZ-DQP SKCReturn to Zero Differential Quadrature Phase Shift Keying,称为归零差分正交相移键控)组件，(3)将作为空间相位调制器的LCOS (Liquid Crystal On Silicon,称为娃基液晶)和 PLC 光稱合的 TODC (Tunable Optical Dispersion Compensator,称为可调光色散补偿器)组件等。在混合光学组件中，为了降低由机械振动、冲击等外力带来的影响，将PLC等波导型光学器件固定在支架上来制造所述混合光学组件，但是，存在因波导型光学器件与支架之间的热膨胀系数之差而产生热应力的为题。在专利文献I中公开了将连接有多个PLC芯片的元件固定在支架上的光学组件中减轻针对PLC芯片连接部的热应力的技术。下面参考图IA-图IC (与专利文献I的图I对应)进行说明。在专利文献I的混合光学组件中，PLC芯片2和PLC芯片3对接(butt joint)，PLC芯片2直接固定在支架I的凸出部。PLC芯片3悬浮在支架I上，由此抑制因PLC芯片3和支架I之间的热膨胀之差引发的热应力，从而降低PLC芯片连接部中的耦合损失。在PLC芯片3和支架I之间填充有填充材料14，在支架I上设置有用于保持的凸出部10，凸出部10的侧面涂布有弹性粘合剂9a、9b，通过弹性粘合剂9a、9b对PLC芯片3提供进一步保持。根据所述结构，即使对给PLC芯片连接部的耦合损失产生最大影响的方向(垂直于基板的方向)施加机械振动或冲击，PLC芯片3也不会在上下方向上变动。现有技术文献专利文献专利文献I :日本国专利申请公开公报“特开2009-175364”
技术实现思路
但是，为防止光学组件的光学特性在PLC芯片3被施加机械振动等情况下发生恶化而设置的弹性粘合剂9a、9b和填充材料14却很难实现最佳化，，因而需要对其进一步改盡口 ο本专利技术是鉴于如上所述的问题点而提出的，其目的在于提供一种能够抑制由热应力和机械外力引发的光学特性劣化的光学组件，其中，在该光学组件中，波导型光学器件的一部分固定在支架的凸出部上。为了达到如上所述的目的，本专利技术第一方式为波导型光学器件的一部分被固定在支架的凸出部上的光学组件，其特征在于，包括光学器件支承台，固定在所述波导型光学器件的未固定在所述凸出部上的部分的侧壁上；按压部件，配置在所述光学器件支承台上并与所述支架相对；以及按压支承台，设置在所述支架上，并固定所述按压部件；所述光学器件支承台被所述支架和所述按压部件夹持，并且能够在与所述支架及所述按压部件的表面平行的方向上滑动。此外，本专利技术的第二方式的特征在于，在第一方式中，所述按压支承台包括固定所述按压部件的两端的第一按压支承台和第二按压支承台，所述第一按压支承台和所述第二按压支承台互相相对配置；所述光学器件支承台被所述支架和所述按压部件夹持并在与所述支架和所述按压部件之间分别设置有间隙，并且，所述光学器件支承台能够在与所述支架及所述按压部件的表面平行的方向上滑动。 此外，本专利技术的第三方式的特征在于，在第一方式或第二方式中，所述按压支承台和所述支架形成为一体，构成将所述波导型光学器件收纳的壳体。此外，本专利技术的第四方式的特征在于，在第一方式至第三方式之一中，所述光学器件支承台固定在所述波导型光学器件的未固定在所述凸出部上的部分因所述光学组件的振动而产生的振动模式的振幅的波腹附近支承。此外，本专利技术的第五方式的特征在于，在第一方式至第四方式之一中，所述光学器件支承台与所述波导型光学器件之间、所述按压部件与所述第一按压支承台及第二按压支承台之间、或者所述按压支承台与所述支架之间通过紫外线固化型粘合剂、热固化型粘合剂或者钎焊焊接来固定。此外，本专利技术的第六方式的特征在于，在第一方式至第五方式之一中，所述光学器件支承台与所述支架和所述按压部件之间的间隔分别为I μ m至10 μ m。此外，本专利技术的第七方式的特征在于，在第一方式至第六方式之一中，所述光学器件支承台与所述支架之间的所述间隙、和/或、所述光学器件支承台与所述按压部件之间的所述间隙中填充有润滑油支承。此外，本专利技术的第八方式的特征在于，对在第一方式至第七方式之一中的所述光学器件支承台实施去棱角处理，使得与所述支架和所述按压部件之间的接触面积减小。此外，本专利技术的第九方式的特征在于，在第一方式至第八方式之一中，所述光学器件支承台的材料的热膨胀系数与所述波导型光学器件的固定有所述光学器件支承台而未固定在所述凸出部上的所述部分的热膨胀系数大致相同。此外，本专利技术的第十方式的特征在于，在第一方式至第九方式之一中的所述光学器件支承台由高分子材料构成。此外，本专利技术的第十一方式为波导型光学器件的一部分被固定在支架的凸出部上的光学组件的制造方法，其特征在于，包括将所述波导型光学器件固定在所述凸出部上的步骤；将光学器件支承台固定在所述波导型光学器件的未固定在所述支架的部分上的步骤；在所述光学器件支承台上配置按压部件，使得与所述支架相对的步骤；以及以所述支架上的按压支承台固定所述按压部件的步骤；其中，所述光学器件支承台被所述支架和所述按压部件夹持，并且能够在与所述支架及所述按压部件的表面平行的方向上滑动。根据本专利技术，通过将构成光学器件的波导型光学器件的一部分固定在支架的凸出部上，并保持剩余部分使其能够滑动，从而能够抑制因热应力和机械外力引发的光学特性恶化的现象。附图说明图IA是表示现有的混合光学组件的图。图IB是表示现有的混合光学组件的图。图IC是表示现有的混合光学组件的图。图2A是表示实施方式I的光学组件的图。 图2B是表示实施方式I的光学组件的图。图3是沿着图2B的III-III线的剖视图。图4A是表示实施方式2的光学组件的图。图4B是表示实施方式2的光学组件的图。图5沿着图4B的V-V线的剖视图。图6是表不实施方式3的光学组件的图。图7A是表示光学器件支承台的剖面形状的图。图7B是表示光学器件支承台的剖面形状的图。图8A是用于说明实施方式I的光学组件的制造方法的图。图SB是用于说明实施方式I的光学组件的制造方法的图。图SC是用于说明实施方式I的光学组件的制造方法的图。具体实施例方式下面，参考附图，对本专利技术的实施方式进行详细说明。(实施方式I)图2A和图2B表示实施方式I的光学组件。光学组件200包括第一波导型光学器件201，例如，PLC本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：石井元速，大庭直树，妹尾和则，土居芳行，都筑健，福满高雄，村泽敦志，海老泽文博，照井博，柴崎智世，菊地祐一，
申请(专利权)人：日本电信电话株式会社，NTT电子股份有限公司，
类型：发明
国别省市：