正型感光性树脂组成物及使用该组成物形成图案的方法技术

本发明专利技术是有关于一种正型感光性树脂组成物及其形成图案的方法。此组成物包含酚醛清漆树脂(A)、邻萘醌二叠氮磺酸类的酯化物(B)、染料(C)以及溶剂(D)。其中，该酚醛清漆树脂(A)含有18％-25％亚甲基键结于邻位-邻位上的高邻位酚醛清漆树脂(A-1)。此组成物的经时安定性佳，并可制得高分辨率的图案。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术是有关于一种正型感光性树脂组成物及其图案形成方法，特别是有关于一种使用在半导体集成电路元件、薄膜晶体管(thin-fi lm transistor ；TFT)的液晶显示元件或触控面板的制造中，经时安定性佳且分辨率高的正型感光性树脂组成物及其图案形成方法。
技术介绍
近年来由于半导体及液晶显示器产业蓬勃发展，个人计算机及显示器的需求扩大，技术突飞猛进，导致高分辨率的要求日益提高。为了达到上述要求，一般使用高邻位酚醒清漆树脂(high-ortho novolac resin)搭配感光剂做为正型感光性树脂组成物(例如日本公开特许2009-192571)。而在半导体集成电路元件、薄膜晶体管(TFT)的液晶显示元件或触控面板的工艺中，为提高良率，上述组成物通常可借由调整感光剂的用量以得到较高的曝光宽容度(exposure latitude),然而,往往却导致该感光性树脂组成物有经时安定性劣化的问题。有鉴于此，亟需提出一种正型感光性树脂组成物，借以改善现有习知的正型感光性树脂组成物分辨率低且经时安定性不佳等缺点。由此可见，上述现有的正型感光性树脂组成物在方法、产品结构及使用上，显然仍本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种正型感光性树脂组成物，其特征在于其包含：一酚醛清漆树脂(A)；一邻萘醌二叠氮磺酸类的酯化物(B)；一染料(C)；以及一溶剂(D)；其中，该酚醛清漆树脂(A)含有18％？25％亚甲基键结于邻位？邻位上的高邻位酚醛清漆树脂(A？1)。

【技术特征摘要】
2011.05.11 TW 1001165291.一种正型感光性树脂组成物，其特征在于其包含 一酚醛清漆树脂(A)； 一邻萘醌二叠氮磺酸类的酯化物(B)； 一染料(C)；以及 一溶剂⑶； 其中，该酚醛清漆树脂(A)含有18% -25%亚甲基键结于邻位-邻位上的高邻位酚醛清漆树脂(A-I)。2.如权利要求I所述的正型感光性树脂组成物，其特征在于其基于该酚醛清漆树脂(A)为100重量份，该高邻位酚醛清漆树脂(A-I)的使用量介于30重量份至100重量份。3.如权利要求I所述的正型感光性树脂组成物，其特征在于其基于该酚醛清漆树脂(A)为100重量份，该高邻位酚醛清漆树脂(A-I)的使用量介于40重量份至100重量份。4.如权利要求I所述的正型感光性树脂组成物，其特征在于其基于该酚醛清漆树脂(A)...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘骐铭，施俊安，
申请(专利权)人：奇美实业股份有限公司，
类型：发明
国别省市：