本发明专利技术公开了片盒定位机构和具有该片盒定位机构的腔室装置。片盒定位机构包括：位于片盒的底部的片盒底板，所述片盒底板的前侧间隔地设有第一和第二开口槽；和片盒安装板，其设有配合在所述第一开口槽内的第一定位销轴和配合在所述第二开口槽内的第二定位销轴，片盒安装板上还设有用于定位所述片盒底板后侧的第三定位结构。根据本发明专利技术实施例的片盒定位机构，定位配合的可观察性好、便于操作。此外，安装起来方便快捷。并且，节省了操作者的体力，使安装过程变得轻松容易。而且，能够精细地控制片盒的状态，从而可以避免出现片盒因失控而碰撞片盒安装板，从而能够确保托盘准确定位的同时保证放置在托盘上的衬底的安全。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及半导体制造领域，尤其涉及片盒定位机构和具有该片盒定位机构的腔室装置。
技术介绍
片盒(Cassette)是一种可以同时容纳多个晶片或托盘的盒形装置。在高度自动化的LED刻蚀机上，采用片盒装载晶片并配合片盒升降机构和真空机械手取/放晶片来实现晶片的全自动化装/卸操作。现有的LED刻蚀设备上，片盒定位机构通常采用销-孔配合定位。然而现有的片盒定位机构存在以下问题。定位配合的可观察性差，导致操作者在实际安装片盒时几乎只能凭借感觉去对正，安装麻烦，费时费力。其次，销-孔配合的对正要求高、费力。每次安装都需要同时对正多对销-孔，再加上观察困难，因此在安装时，操作者必需伸长手臂水平握持片盒并保持较长时间的才能完成安装，由于装满托盘的片盒较重(8 9kg)，安装起来既费力又难以操作。此外，安装中容易造成震动。在实际使用中，为了省力，操作者通常会把片盒倾斜先对正一处销-孔，然后慢慢旋转片盒去对正另一处销-孔。在这个过程中由于看不到销-孔，操作者无法察觉销-孔的对正情况，因此经常导致销-孔对正时片盒失控下落撞击片盒安装板，这种撞击震动极易引发托盘上的衬底发生碎裂等危险，而且也会导致托盘滑动偏离正确位置。
技术实现思路
本专利技术旨在至少解决上述技术问题之一。为此，本专利技术的一个目的在于提出一种具有可观察性好、结构简单、易于定位、安装省力的片盒定位机构。本专利技术的另一个目的在于提出一种腔室装置。为了实现上述目的，根据本专利技术第一方面实施例的片盒定位机构，包括片盒底板，所述片盒底板位于片盒的底部，所述片盒底板的前侧间隔地设有第一和第二开口槽；和片盒安装板，所述片盒安装板上设有配合在所述第一开口槽内的第一定位销轴和配合在所述第二开口槽内的第二定位销轴，所述片盒安装板上还设有用于定位所述片盒底板后侧的第三定位结构。根据本专利技术实施例的片盒定位机构，由于将起主要定位作用的第一和第二定位销轴以及第一和第二开口槽分别设置片盒安装板和片盒底板的前侧，即便片盒内装满托盘也能保证操作者观察到第一和第二定位销轴与第一和第二开口槽的配合状态，因此定位配合的可观察性好、便于操作。此外，采用第一和第二定位销轴分别与第一和第二开口槽配合的方式进行定位，可以从第一和第二定位销轴的侧面或从上向下使其配合进第一和第二开口槽中，操作灵活，且由于观察方便，因此安装起来方便快捷。并且，第一和第二定位销轴与第一和第二开ロ槽的配合形式允许从第一和第二定位销轴的侧面将第一和第二定位销轴分别套入第一和第二开ロ槽内，这就使得操作者可以先把片盒靠在第一和第二定位销轴后侧的片盒安装板上，然后向前拉动片盒从而将第一和第二定位销轴分别套入第一和第二开ロ槽中，这个过程中不需要用手臂承担片盒的重量，节省了操作者的体力，从而使安装过程变得轻松容易。而且，在使用中，操作者可以根据观察到的定位配合情况而实时调节片盒位置，能够精细地控制片盒的状态，从而可以避免出现片盒因失控而碰撞片盒安装板的现象，从而能够确保托盘的准确定位的同时保证托盘上的衬底的安全。另外，根据本专利技术上述实施例的片盒定位机构还可以具有如下附加的技术特征根据本专利技术的一些实施例，所述第三定位结构包括定位块，所述定位块连接在所述片盒安装板的后侧面上用于定位所述片盒底板的后侧。可选地，所述定位块的顶表面与所述定位块的前侧面之间设有第一倒角以限定出从所述定位块的顶表面向前向下倾斜的第一导引面。 进ー步可选地，所述片盒底板的后侧面与所述片盒底板的底面之间设有第二倒角以限定出从所述片盒底板的后侧面向前向下倾斜的且与所述第一导引面相配合的第二导引面。优选地，所述第一和第二导引面的倾斜角度为45度。可选地，所述定位块为长条状的长方体块，所述定位块的前侧面在所述定位块的长度方向上的两端分别设有第一和第二定位凸起。根据本专利技术的另ー些实施例，所述第三定位结构包括第三开ロ槽，所述第三开ロ槽设在所述片盒底板的后侧面上；和第三定位销轴，所述第三定位销轴设在所述片盒安装板上且配合在所述第三开ロ槽内。可选地，所述第一开ロ槽和第二开ロ槽均为U形。进ー步可选地，所述第一开ロ槽和第二开ロ槽均具有喇叭状开ロ。根据本专利技术的一些实施例，所述第二开ロ槽的宽度大于所述第一开ロ槽的宽度，所述第一定位销轴与所述第二定位销轴的直径相同。此外，为了实现上述目的，根据本专利技术第二方面实施例的腔室装置，包括腔室本体，所述腔室本体内限定有腔室；升降机构，所述升降机构设置在所述腔室本体下面用于将片盒向上移入所述腔室和向下移出所述腔室；和片盒定位机构，所述片盒定位机构为根据本专利技术第一方面的任ー实施例所述的片盒定位机构，其中所述片盒定位机构的片盒安装板安装在所述升降机构的顶端用于定位所述片盒，且所述片盒定位机构的片盒底板用于当作所述片盒的底板。本专利技术的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本专利技术的实践了解到。附图说明本专利技术的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中图I是根据本专利技术实施例的片盒定位机构的示意图；图2是图I所示片盒定位机构在安装状态下的剖视图3a是图I所示片盒定位机构的片盒底板的主视图；图3b是图I所示片盒定位机构的片盒底板的右视图；图3c是根据图I所示片盒定位机构的定位块的立体图；和图4是根据本专利技术另一实施例的片盒定位机构的示意图。具体实施例方式下面详细描述本专利技术的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过參考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本专利技术，而不能理解为对本专利技术的限制。在本专利技术的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底” “内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于 附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本专利技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本专利技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。在本专利技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本专利技术中的具体含义。下面，參考图I 图4描述根据本专利技术实施例的片盒定位机构。如图I 图4所示，根据本专利技术实施例的片盒定位机构，包括片盒底板10和片盒安装板20。具体地，片盒底板10位于片盒I的底部。片盒底板10的前侧(图I所示X轴的正向，即靠近操作者ー侧)间隔地设有第一开ロ槽Ila和第二开ロ槽lib。片盒安装板20上设有配合在第一开ロ槽I Ia内的第一定位销轴21a和配合在第二开ロ槽I Ib内的第二定位销轴21b，片盒安装板20上还设有用于定位片盒底板10后侧的第三定位结构。需要理解的是，在本专利技术的一些实施例中，如图I所示，所述第三定位结构包括定位块221，定位块221连接在片盒安装板20的后侧面上用于定位片盒底板10的后本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种片盒定位机构，其特征在于，包括：片盒底板，所述片盒底板位于片盒的底部，所述片盒底板的前侧间隔地设有第一和第二开口槽；和片盒安装板，所述片盒安装板上设有配合在所述第一开口槽内的第一定位销轴和配合在所述第二开口槽内的第二定位销轴，所述片盒安装板上还设有用于定位所述片盒底板后侧的第三定位结构。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：张鹏，
申请(专利权)人：北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司，
类型：发明
国别省市：
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