高电压检查装置制造方法及图纸

高电压检查装置。通过对多个检查对象器件集中地以适合标准的电流波形明确且准确地进行高电压施加试验，来大幅度地高效地进行高电压检查。ESD试验装置具有输出规定的高电压的高压电源、对来自高压电源的规定的高电压进行蓄积的作为高电压容量装置的高压电容器、将来自高压电容器的规定的高电压穿过施加电阻输出的高电压输出部、以将来自该高压电源的规定的高电压与高压电容器侧连接或将来自高压电容器的规定的高电压与高电压输出部侧连接的方式进行切换的作为切换装置的高耐压继电器，独立且并联地具有与要进行一并施加处理的多个检查对象器件的个数相同的作为同一电路构成的从高压电容器通过高耐压继电器进而通过施加电阻而到高电压输出部的电路。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及利用检查ESD耐受性的ESD试验装置对例如LSI元件及LED元件及激光元件等发光元件等检查对象器件进行高电压施加检查的高电压检查装置。
技术介绍
目前，在LSI元件中，在输入电路侧连接有保护二极管，检查保护二极管的ESD耐受性。在LED元件及激光元件等发光元件中，发光元件自身具有二极管构造。该二极管构造由P型扩散层和η型扩散层的ρη结构成，因此ESD耐受性因ρ型扩散层和η型扩散层的结果而不同，因此需要全数检查ESD耐受性。现有的ESD施加所必需的基本ESD电路由符合高压电源和ESD标准(HBM (人体模型)、ΜΜ(机器模型)等)的高压电容器、施加电阻及使用水银的高耐压继电器构成。 ESD电路的施加输出部分利用将用于连接到器件的端子的接触探针固定搭载于基板的探针卡片及将该接触探针固定于臂的机械手等，对检查对象的器件通电。向检查对象器件的供给电压的大小以可靠性检查中代表的ESD试验(静电放电可靠性试验)等为对象，且以约I IOKV水平的高电压为对象。对来自人体及机械的静电流到LSI芯片等检查对象器件时的耐久性进行试验。图21是示意性表示现有ESD试验装置的构成例的电路图。在图21中，现有ESD试验装置100的高压电源101的一端子通过高耐压继电器102、103而与施加电阻104的一端连接。该施加电阻104的另一端与检查对象器件105的一端子连接。器件105的另一端子与高压电源101的另一端子连接。这两个高耐压继电器102,103的连接点通过高压电容器106而与器件105的另一端子和高压电源101的另一端子的连接点连接，该连接点接地。设有对这两个高耐压继电器102、103的通/断进行控制的定时控制器107。另外需要用于驱动这两个高耐压继电器102、103的电源。根据上述构成，首先，通过定时控制器107，充电用高耐压继电器102接通，来自高压电源101的电流蓄积于高压电容器106。此时，放电用高耐压继电器103通过定时控制器107设为断开状态。其次，通过定时控制器107，充电用高耐压继电器102断开，然后控制放电用高耐压继电器103，使其接通。由此，蓄积于高压电容器106的高电压从高耐压继电器103通过施加电阻104而施加于检查对象器件105的一端子。这样，能够通过定时控制器107对这两个充电用高耐压继电器102、放电用高耐压继电器103进行通/断切换，而使高压电容器106充电或放电，并对检查对象器件105施加规定的高电压。充电用高耐压继电器102、放电用高耐压继电器103的切换动作通过定时控制器107以规定的定时来进行。ESD试验通过数种施加模型和分别规定了标准且施加于检查对象器件105的电流波形(或电压波形)来判断是否适合。总而言之，ESD试验从高压电源经由ESD施加电路，进而经由插座、臂等接触夹具，对检查对象器件施加高电压。使高电压的供给源侧端子(一根)和GND侧端子(一根)与检查对象器件的各端子接触，对检查对象器件施加高电压。在这种情况下，检查对象器件以单体进行高电压施加处理。虽然具有可将检查对象器件制成多组的装置，但实际的ESD试验是串行地变换端子进行处理。这在专利文献2中有所公开。与此相对，批量生产且进行ESD试验的技术在专利文献I中有所公开。图22是示意性表示专利文献I公开的现有ESD试验装置的构成例的立体图。图22中，作为现有ESD试验装置的静电放电试验用夹具200在对安装有电子器件201的印刷电路配线板202进行静电放电试验时，利用下面的试验用夹具，在一次试验中，对多块印刷电路配线板202同时施加静电。在作为被试验对象物的载置台而准备的导电板203的板上一角上设定静电施加点，然后从其静电施加点 起分别在每隔等距离的位置放射状地并列分散配备多个印刷电路板支承件204，所述多个印刷电路板支承件204，将印刷电路配线板202支承为立起姿势。另外，包括枪保持件206，用于将静电发生枪205的位置与静电施加点对其设置。将印刷电路配线板202 —块一块地以在其配线图案202a与导电板203导通接触那样的方向上立起的姿势装载于各印刷电路板支承件204，在该状态下，从静电发生枪205在静电施加点放静电。由此，从静电发生枪205经由导电板203对载置于板上的多块各印刷电路配线板202 —并施加静电。因此，在一次试验中，能够对多块印刷电路配线板202同时施加静电，从而实现准备时间的缩短化。专利文献I :特开2005-201706号公报专利文献2 :特开2000-329818号公报在专利文献I公开的上述现有静电放电试验用夹具200中，由于静电发生枪205即施加源为单体，与此相对，检查对象器件存在多个，因此存在难以对每个检查对象器件都作出是否进行了适合规定电压/规定次数的标准的ESD施加的证明之类的问题。总而言之，有可能会因ESD施加时的少许的距离之差而导致主要对多个器件中的一个器件施加ESD施加电压，不会进行明确的ESD施加试验。
技术实现思路
本专利技术是为解决上述现有问题而开发的，其目的在于，提供一种高电压检查装置，其能够对多个检查对象器件集中地以适合标准的电流波形(或电压波形)明确且准确地进行高电压施加试验，从而大幅度且高效地进行高电压检查。特别是，在形成于同一半导体晶片的多个器件中，在对多个检查对象器件集中地以适合标准的电流波形(或电压波形)明确且准确地进行高电压施加试验的情况下，如图12所示，当用正电源设定反向偏压的状态时，会发生从器件6的阴极端子向邻接器件6的阳极端子的短路，被施加的电荷量分散于n-GaN基板，同一器件6的从阴极端子穿过阳极端子的电荷量成为不定。在混有短路不良的情况下，贯通于短路部位的电荷就会集中，因此脱离ESD规定。本专利技术是为解决上述现有问题而开发的，其目的在于，提供一种高电压检查装置，其在对多个检查对象器件一并以适合标准的电流波形(或电压波形)明确且准确地进行高电压施加试验的情况下，也能够以简单的构成，不会混有短路不良，大幅度且高效地进行高电压检查。另外，特别是，在专利文献2公开的上述现有ESD试验装置100中，使用的是水银高耐压继电器。该水银高耐压继电器不仅价格高，而且由于使用水银，会成为限制对象(RoHS指令)。另外，在集中地同时检查多个器件的情况下，需要许多该水银高耐压继电器。另外，在使用水银的高耐压继电器中，在继电器动作时间上会产生以msec为单位的时间差。另外，需要对高耐压继电器的驱动定时进行控制的单元，并且另外需要驱动高耐压继电器的电源。本专利技术是为解决上述现有问题而开发的，其目的在于，提供一种高电压检查装置，其不使用高耐压继电器，就能够简化整体构成，且以适合标准的电流波形(或电压波形)进行高电压施加试验。本专利技术的高电压检查装置对多个检查对象器件检查ESD耐受性，其中，具有输出规定的高电压的高压电源、分别对该多个检查对象器件一并且同时地施加来自该高压电源的各规定的高电压的ESD电路，由此，实现上述目的。本专利技术的高电压检查装置对多个检查对象器件检查ESD耐受性，其具有输出规定的负高电压的高压电源、分别对配设于半导体晶片的多个检查对象器件的各二极管构造一 并且同时施加来自该高压电源的各规定的负高电压以使其分别成为反向偏压的ESD电路，由此，实现上述目的。本发本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种高电压检查装置，其对多个检查对象器件检查ESD耐受性，其中，具有输出规定的高电压的高压电源、和分别对该多个检查对象器件一并且同时施加来自该高压电源的各规定的高电压的ESD电路。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：内田练，
申请(专利权)人：夏普株式会社，
类型：发明
国别省市：