片状仪器的制造装置、片状仪器的制造方法制造方法及图纸

一种片状仪器的制造装置及制造方法，其可使因气体残留或产生铸型与基材上的树脂的未接触部(未紧贴部)而导致的图案的未转印、图案的形状不佳等不良情况不易发生。本发明专利技术的片状仪器的制造装置包括：铸型，该铸型具有形成有图案的图案形成面；弹性体，该弹性体与所述铸型相对配置；加压装置，该加压装置使所述铸型和所述弹性体夹住基材，以将所述图案形成面按压到所述基材上的树脂；以及固化装置，该固化装置使所述基材上的所述树脂发生固化，所述图案形成面的投影区域中的所述弹性体的表面是朝所述铸型侧呈凸状的曲面。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种片状仪器的制造装置及片状仪器的制造方法，该片状仪器用于将形成于铸型(模具)的图案转印到基材上的树脂处。
技术介绍
作为用于形成具有微细的凹凸形状(从微米级到纳米级的凹凸形状)图案的片状仪器的微细加工技术，存在一种压印(日文4 7 U >卜)技术。压印技术具有热方式和光方式这两种方式。光方式的压印能廉价地制作出微细结构。因此，光方式的压印在多方面投入了实际使用。在压印中，使用加工有微细图案的铸型(模具)。热方式的压印是以下技术在将形成于铸型的微细图案按压到基材上的热固性树脂之后，通过对处于按压有上述微细图案的状态下的热固性树脂施加热以使该树脂固化，从而将微细图案转印到树脂。光方式的压印是以下技术在将形成于铸型的微细图案按压到基材上的光固化树脂之后，通过对处于按压有上述微细图案的状态下的光固化树脂照射光以使该树脂固化，从而将微细图案转印到树脂。在光方式的压印中，主要使用UV(紫外线)固化树脂。通过利用这种压印技术来将图案转印到基材上的树脂，从而能制作出压印有图案的片状仪器。然而，在压印中，当铸型与基材上的树脂紧贴时，气体容易被封入铸型与树脂之间。若封入铸型与树脂之间的气体残留，则在树脂中会发生图案未转印部或图案形状不佳部。图案未转印部是图案没有被转印的部分。图案形状不佳部是图案的形状并非是期望的形状的部分。以防止因这种气体封入而引起的图案的未转印和图案的形状不佳为目的，例如在日本专利JP2007-194304A中提出了一种使用室的压印方法。图8是表示日本专利JP2007-194304A中公开的现有压印装置的图。当使用图8所示的压印装置时，能在减压后的压印室101内进行压印。藉此，图8所示的压印装置能防止残留气泡产生以减少气体封入。此外，根据图8所示的压印装置，通过对设于模具106上侧(模具106的未形成有图案的背面侧)的辅助室108内的压力进行调节，从而能控制模具106的形变(strain:应变)。以下，对图8所示的压印装置进行说明。在图8所示的压印装置中，在压印室101的上部设有模具106。在该模具106的上侧(模具106的未形成有图案的背面侧)设有辅助室108。另外，压印室101和辅助室108通过配管111而与真空泵115相连。在压印室101与真空泵115之间设有阀113。在辅助室108与真空泵115之间设有阀114。此外，压印室101与辅助室108通过配管111而相连。在压印室101与辅助室108之间设有阀112。如上所述构成的压印装置是按如下方式进行动作的。即，在将涂布有光固化性的被转印体105的基板104导入压印室101内之后，压印装置首先打开阀112 114以对压印室101和辅助室108进行排气。接着，压印装置利用移动机构102使基板104朝模具106上升，以使被转印体105与模具106的图案接触。然后，压印装置先关闭阀112和阀113，再使真空泵115停止以使辅助室108回到大气压。藉此，被转印体105与模具106的图案紧贴。然后，在压印 装置中，使光从设于辅助室108上侧的光源110穿过设于辅助室108上部的透光部109和具有透光性的模具106而照射到被转印体105。藉此，使被转印体105固化。这样，当使用图8所示的压印装置时，能在真空状态下进行压印。由此，现有的压印装置能防止因气体残留而引起的图案的未转印及图案的形状不佳。此外，通过与压印室101内的压力相适地对辅助室108内的压力进行任意调节，就能避免模具106的变形。如上所述，提出了一种能在室内进行压印且能进行模具的形变控制的压印装置。然而，该压印装置是在铸型(模具)的上侧和下侧分别设有室并使涂布在插入下侧的室的基材上的树脂与形成于铸型的图案紧贴的结构。因此，在要求片状仪器(用于转印微细图案的仪器)具有大面积的情况下，需要增大上述压印装置的铸型，从而使装置大型化。另夕卜，一旦铸型变大，则对铸型的形变进行控制就变得困难。因此，容易因铸型与基材的平面形状的误差而导致出现铸型与树脂处于未接触或未紧贴的未接触部(未紧贴部)。其结果是，容易发生因铸型与树脂的未接触部(未紧贴部)而引起的图案的未转印或图案的形状不佳。图案越是微细，上述图案的未转印和图案的形状不佳的问题就越显著。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种不易发生图案的未转印、图案的形状不佳等不良情况的片状仪器的制造装置及片状仪器的制造方法。为实现上述目的，本专利技术的片状仪器的制造装置包括铸型，该铸型具有形成有图案的图案形成面；弹性体，该弹性体与上述铸型相对配置；加压装置，该加压装置使上述铸型和上述弹性体夹住基材，以将上述图案形成面按压到上述基材上的树脂；以及固化装置，该固化装置使上述基材上的上述树脂固化，上述图案形成面的投影区域中的上述弹性体的表面是朝上述铸型侧呈凸状的曲面。另外，为实现上述目的，本专利技术的片状仪器的制造方法包括加压工序，在该加压工序中，使用具有形成有图案的图案形成面的铸型和具有曲率的规定形状的弹性体来夹住基材，其中，该基材的与上述图案形成面相对的一个面上设有树脂，从而将上述图案形成面按压到上述树脂来对上述树脂进行加压；以及固化工序，在该固化工序中，使上述基材上的树脂发生固化，在加压时，随着上述铸型和上述弹性体中的至少一方朝上述铸型与上述弹性体靠近的方向移动，上述图案形成面与上述树脂接触的范围从上述图案形成面的内侧朝外侧扩大。根据本专利技术，不易发生图案的未转印、图案的形状不佳等不良情况。附图说明图I是表示本专利技术实施方式I的压印装置的侧视图。图2是将本专利技术实施方式I的压印装置的主要部分放大后表示的侧剖视图。图3(a) 图3(d)是用于说明本专利技术实施方式I的加压工序的图。图4是用于说明本专利技术实施方式I的固化工序的图。 图5是用于说明本专利技术实施方式I的压印装置的动作的立体图。图6(a) 图6(d)是用于说明本专利技术实施方式2的加压工序的图。图7是用于说明本专利技术实施方式2的固化工序的图。图8是表示现有的压印装置的结构的图。具体实施例方式以下，参照附图对本专利技术的实施方式进行说明。对于相同的构成要素，有时会标注相同的符号，并省略重复的说明。另外，为了容易理解附图，在主体上示意地示出了各构成要素。此外，图示出的各构成要素的厚度、长度等考虑到制图方便，与实际情况有所不同。(实施方式I)对本专利技术实施方式I进行说明。图I是表示作为本专利技术实施方式I的片状仪器的制造装置的一例的压印装置整体的侧视图。在图I中，示出了筐体3的内部，其中，在上述筐体3底面上配置有压印用的铸型(模具)4。以下，将压印用的铸型简称为“铸型”。作为由片状仪器的制造装置制造出的片状仪器，例如有防反射片。本实施方式I的压印装置首先使用铸型4，将微细图案5按压到覆盖基材8的一个面的未图示的UV(紫外线)固化树脂，以对UV固化树脂进行加压。然后，该装置使UV照射装置6发出UV光。该UV光透过铸型4而被照射至UV固化树脂。照射到UV光的UV固化树脂发生固化。藉此，可将微细图案转印至片状基材8上的UV固化树脂上。铸型4具有形成有微细图案5的图案形成面。基材8是片状的无缝构件。在该装置中，当加压时，在片状基材8的下侧配置有弹性体9，利用铸型4和弹性体9来夹住片状基材8。弹性体9的表面在与铸型4相对的部分具有朝本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种片状仪器的制造装置，其特征在于，包括：铸型，该铸型具有形成有图案的图案形成面；弹性体，该弹性体与所述铸型相对配置；加压装置，该加压装置使所述铸型和所述弹性体夹住基材，以将所述图案形成面按压到所述基材上的树脂；以及固化装置，该固化装置使所述基材上的所述树脂固化，所述图案形成面的投影区域中的所述弹性体的表面是朝所述铸型侧呈凸状的曲面。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：高见文宣，和田纪彦，山田晃久，鹰巢良史，
申请(专利权)人：松下电器产业株式会社，
类型：发明
国别省市：