清洗用旋转刷制造技术

旋转刷１备有安装在旋转轴上的硬质基体３以及多个突出设置在基体３的工作面上的条纹状突起２７，条纹状突起２７的顶部基本上在同一平面内旋转并与被清洗部接触。条纹状突起２７由聚乙酸乙烯酯系多孔质弹性体制成，连续地配置在从工作面旋转中心３５侧的内侧基准点３１ａ延伸到工作面的外缘１７ｂ侧的外侧基准点３１ｂ的多条假想设定线３１上。条纹状突起２７的长度方向的长度Ｌ１大于条纹状突起２７的宽度方向的长度Ｄ１。从而，含有从被清洗部擦除的污物和粒子的使用后的清洗废液被导向到条纹状突起２７内，被很好地引导到外侧基准点３１ｂ，迅速地将清洗废液排出系统之外。（*该技术在2019年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及适用于要求极高的表面精度和清洁度的产品，例如硅片，光刻掩模，磁盘基板，液晶用玻璃基板等电子部件制造工艺中的精密清洗的旋转刷，更具体地说，涉及适用于刷洗清洗的旋转刷。
技术介绍
近年来，在电子工业中，例如以硅片的集成度和磁盘的记录密度为代表，各种部件的精密度飞速提高，与此相应地，对部件表面的加工精度和清洁度的要求也随之提高。特别是，部件表面的化学污染和附着的粒子对产品的合格率和产品的动作可靠性有很大的影响，因此在制造过程中，精密清洗的重要性非常大。作为现有的清洗方法，湿式刷洗法是公知的。刷洗法一面供应水和其它清洗液一面把旋转的刷推压到被清洗物上进行摩擦清洗，由于装置的结构简单，清洗成本低，且可发挥优异的清洗能力，从而被广泛采用。刷洗用刷子的形状有辊型和杯型。辊型刷是与被清洗物线接触，而杯型刷则是与被清洗物面接触。因此，与辊型刷相比，杯型刷与被清洗物的接触面积大，具有清洗斑点少的优点。作为杯型刷，一般使用在刷主体的圆盘上用很多合成纤维单丝进行植毛或于该圆盘上粘结元纺布等构成的刷。但是，在使用合成纤维单丝和无纺布作为与被清洗物的接触部的上述杯型刷中，存在着因纤维刚性造成的使被清洗物表面损伤以及因纤维的脱落引起的污染等新的问题。为解决这一问题，有人提出了采用圆柱突起状所聚乙酸乙烯酯(下面简称为PVAt)系多孔质弹性体作为与被清洗物的接触部的清洗用旋转刷(参照实公昭64-6953号公报)。PVAt多孔质弹性体具有优异的保水性和耐磨损性，以及由于含水而显示出适度的柔软性的特点。从而，采用PVAt系多孔质弹性体的清洗用旋转刷不易损伤被清洗物且具有优异的耐久性，所以适用于电子部件的精密清洗。这里，利用上述杯型刷，从被清洗物表面被擦掉的污物或粒子和使用后的清洗废液一起从被清洗物表面上向其外侧移动，最后被排出系统之外。但是，上述现有的采用PVAt系多孔质弹性体的旋转刷为考虑了在被清洗物的表面上清洗废液流动的结构，很难说它能够以应付近年来对精密清洗所提高的更高的要求。就是说，不能否认含有污物和粒子的清洗废液在被清洗物表面上不必要的滞留，会由于长时间滞留的污物及粒子使被清洗的表面有再次被污染的可能性，从而希望更迅速地把从被清洗物擦掉的污物等排出系统之外，以便更进一步地降低相关的再次污染的发生。此外，在滞留的粒子是磨料等硬质物质的场合，当滞留粒子紧紧地压在被清洗物表面上时，存在着由粒子把被清洗物表面划伤的危险。利用上述现有旋转刷，由于与被清洗物表面接触的PVAt系多孔质弹性体具有柔软性，从而可在一定程度上消除这种不当之处，但很难说它能够满足近年来对精密清洗所提出的要求，从这个角度出发，也希望将滞留粒子等迅速地排出系统之外。鉴于上述情况，本专利技术的目的是，提供一种可把从被清洗物上擦除的污物等迅速地排出系统之外、具有更高的清洗效率的清洗用旋转刷。专利技术的公开为达到上述目的，本专利技术的第一种形式为一种配备有在相对于旋转轴安装的状态下具有与被清洗部对向且旋转工作面的硬质基底、以及突出设置在该工作面上的多个清洗部，前述清洗部的顶部在大致同一个平面上旋转并与前述被清洗部接触的清洗用旋转刷，其特征为，前述清洗部包含由聚乙酸乙烯酯系多孔质弹性体形成，连续地配置在从前述工作面的旋转侧的内侧基准点延伸到该工作面的外缘侧的外侧基准点的多条假想设定线上的多条条纹状突起，前述条纹状突起沿前述假想设定线的长度方向的长度大于该条纹状突起宽度方向的长度。在第一种形式中，可将前述内侧基准点设定在把通过前述旋转中心的直线与前述薄片部的最内端和最外端的交点间的距离进行三等分所画出的两个同心圆中比内侧的圆更靠内侧的部位处，将前述外侧基准点设定在前述两个圆中比外侧的圆更靠外侧的位置处。此外，可将前述内侧基准点设置在邻近前述薄片部的最内端，把前述外侧基准点设置在邻近前述薄片部的最外端。本专利技术的第二种形式为一种配备有安装在与被清洗部对向且旋转的工作面上，与该工作面成一体地旋转薄片部，以及突出设置在该薄片部上的清洗部，前述清洗部的顶部在大致同一平面上旋转、且与前述被清洗部接触的清洗用旋转刷，其特征为，前述清洗部包含由聚乙酸乙烯酯系多孔质弹性体构成，连续地配置在从前述薄片部的旋转中心侧的内侧基准点延伸到该薄片部的外缘侧的外侧基准点的多条假想设定线上的多条条纹状突起，前述条纹状突起沿前述假想设定线的长度方向的长度大于该条纹状突起的宽度方向的长度。在第二中形式中，可将前述内侧基准点设定在把通过前述旋转中心的直线与前述薄片部的最内端和最外端的交点间的距离进行三等分所画出的两个同心圆中比内侧的圆更靠内侧的部位处，将前述外侧基准点设定在前述两个圆中比外侧的圆更靠外侧的位置处。此外，可将前述内侧基准点设置在邻近前述薄片部的最内端，把前述外侧基准点设置在邻近前述薄片部的最外端。上述薄片部和条状突起部可由聚乙酸乙烯酯系多孔质弹性体整体形成。进而，在第一或第二中形式中，可将前述条纹状突起相对于各个假想设定线分别成一体地连续设置。此外，可令前述条纹状突起的长度方向的长度等于宽度方向的长度的两倍以上。同时，可使前述条纹突起的宽度方向上的长度根据其在假想设定线上的位置的不同而不同。本专利技术的第三种形式的特征为，在第一种或第二种形式的清洗用旋转刷中，前述假想设定线基本上为直线状。本专利技术的第四种形式的特征为，在第三种形式的清洗用旋转刷中，前述假想设定线相对于通过旋转中心的直线是倾斜的。在本专利技术的第四种形式中，可将把前述假想设定线与通过把内外基准点间的距离两等分的中点和前述旋转中心的直线的交叉角度限制在0°以上、45°以下的范围内。此外，可使前述假想设定线全部向前述基底或前述薄片部的旋转方向的后方倾斜。本专利技术的第五种形式的特征为，在第一或第二种形式的清洗用旋转刷中，前述假想设定线为曲线。本专利技术的第六种形式的特征为，在第五种形式的清洗用旋转刷中，前述假想设定线为向一个方向突出的弯曲线，在前述内外基准点之间将沿前述弯曲线的长度二等分的中心点处的该弯曲线的切线相对于通过前述旋转中心与前述中心点的直线倾斜。在第六种形式中，通过前述中心点和前述旋转中心的直线与前述切线的交叉角可限定在0°以上，45°以下的范围内。此外，也可按照使各弯曲线的前述中心点处的切线全部向前述基底或前述薄片部的旋转方向的后方倾斜的方式设定。进而，也可使前述弯曲线全部向前述基底或前述薄片部的旋转方向的前方突出。本专利技术的第七种形式的特征为，在第五或第六种形式的清洗用旋转刷中，前述假想设定线为向一个方向突出的弯曲线，通过前述弯曲线上的任意点和前述旋转中心的直线与在前述任意点处的前述弯曲线的切线的交叉角度，随该任意点离开前述旋转中心而趋于90°地变化。在第七种形式中，也可使前述交叉角度在0°以上、45°以下的范围内变化。在采用上述各种形式的清洗用旋转刷清洗被清洗部时，把利用旋转轴高速旋转的条纹状突起压在被清洗部上的同时，向被清洗部上供应水或其它清洗液。借此，被清洗部被由PVAt系多孔质弹性体制的条纹状突起进行良好的摩擦清洗。然后从被清洗部擦除的污物和粒子和使用后的清洗废液一起向外周侧移动，最终排出到系统之外。这时，由于条纹状突起从工作面或薄片部的旋转中心侧的内侧基准点连续地延伸到外缘侧的外侧基准点，所以含有从被清洗部擦除的污物本文档来自技高网...

【技术保护点】
清洗用旋转刷，所述旋转刷配备有在相对于旋转轴安装的状态下具有与被清洗部对向且旋转的工作面的硬质基体、以及突出设置在该工作面上的多个清洗部，前述清洗部的顶部在大致同一个平面上旋转并与前述被清洗部接触，其特征为， 前述清洗部包含由聚乙酸乙烯酯系多孔质弹性体构成，连续地配置在从前述工作面的旋转中心侧的内侧基准点延伸到该工作面的外缘侧的外侧基准点的多条假想设定线上的多条条纹状突起， 前述条纹状突起沿前述假想设定线的长度方向的长度大于该条纹状突起的宽度方向的长度。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：合田周起，井出正男，德永好，
申请(专利权)人：阿伊昂株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]